La Fase del VUV di UVISEL Ha Modulato Ellipsometer Spettroscopico Da Horiba Jobin Yvon Esteso Giù Fino 140nm

L'introduzione del ellipsometer spettroscopico modulato fase del VUV di UVISEL da Horiba Jobin Yvon estende le capacità di prestazione della serie di UVISEL giù fino 140 nanometro. Questo intervallo di energia sta diventando sempre più importante per la caratterizzazione delle pellicole estremamente sottili utilizzate nelle unità del nanoscale con nanoelectronic, nanophotonic, il nanobiosensor e le applicazioni nanorobotic.

Ellipsometer del VUV di UVISEL

Il ellipsometer del VUV di UVISEL fornisce la migliore combinazione di prestazione superiore del VUV e di flessibilità sperimentale determinare lo spessore di pellicola sottile e le costanti ottiche attraverso la lunghezza d'onda 140 a 826 nanometro. Le Funzionalità del VUV di UVISEL includono:

  • Ampia ampiezza dello spettro a molto ad alta velocità                           
  • Progettazione Avanzata per il rendimento elevato nel VUV
  • Accesso Diretto del campione e caricamento veloce
  • Tecnologia di modulazione di Fase per la misura di precisione e di alta precisione
  • Segnale/disturbo e segnale Eccellenti al rapporto di sfondo

Per potere coprire questa vasta gamma lo strumento deve essere aria/senza ossigeno ed è questo requisiti che possono diminuire la capacità di lavorazione del campione per alcuni strumenti a causa dell'ingresso di aria e della sua rimozione quando il campione è montato e smontato dagli strumenti.

Per minimizzare questa influenza il VUV di UVISEL è configurato come tre compartimenti separati; la lampada + polarizzatore, la camera del campione ed il modulatore + il monocromatore + il sistema di rilevamento fotoelastici del fotomoltiplicatore. Il compartimento del campione ha accesso separato ed è fornito del suo proprio sistema isolato della purga.

Questa progettazione fornisce l'alte flessibilità e versatilità per il campione che tratta e permette all'alta capacità di lavorazione del campione.

Il VUV di UVISEL è gestito in piattaforma software Deltapsi2 ed è ideale per le domande della pellicola sottile del VUV di ricerca esigente e controllo di qualità industriale.

Applicazioni della Pellicola Sottile del VUV

Le applicazioni ellipsometry spettroscopiche del VUV variano dalle misure delle costanti ottiche e del bandgap ottico dei materiali che assorbono lontano nel UV quali gli alti materiali del K, i materiali organici, l'ottica passo passo, photoresists.

Ellipsometry spettroscopico del VUV fornisce la precisione aumentata per la misura di spessore molto degli strati sottili e delle interfacce. Ciò è particolarmente utile per le applicazioni del nanoscale dove la caratterizzazione di un ossido indigeno, di un livello eccessivo approssimativo o di un'interfaccia pregiudica il risparmio di temi dell'unità definitiva.

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