El Discernimiento AFM Automatizado 3D de Veeco Validado por el Cliente Global Dominante del Semiconductor

Veeco Instruments Inc., anunciado hoy que su nueva Plataforma Atómica Automatizada 3D del Microscopio de la Fuerza del Discernimiento (TM) (3DAFM) ha sido validada por un cliente global dominante del semiconductor para la Metrología Crítica (CD) de la Referencia de la Dimensión para el modelado Óptico de la Corrección (OPC) de la Proximidad. El Discernimiento 3DAFM provee de características tridimensionales altamente exactas, no destructivas, de alta resolución de las mediciones (3D) de 45nm crítico y del semiconductor 32nm, acoplados la velocidad para calificar como herramienta fabulosa verdadera. Veeco también anunció que recibió una nueva pedido para el sistema de un fabricante de cabeza del dispositivo de semiconductor basado en Corea.

La Marca Masca, Ph.D., Vicepresidente Ejecutivo, Metrología de Veeco, comentada, “Nosotros está contenta que este cliente, uno que se conoce como arranque de cinta en Metrología de la Referencia, ha validado la herramienta para esta aplicación exigente. El Discernimiento 3DAFM proporciona a la mejor exactitud disponible para la Metrología del OPC, reduciendo desvío de medición residual y mejorando duraciones de ciclo del OPC. Esto puede mejorar importante tiempo al mercado en los dispositivos de semiconductor avanzados y reducir costos de revelado de proceso. También Nos agradan que un cliente dominante del dispositivo de semiconductor ha elegido el Discernimiento para una aplicación producción-basada de la metrología del CD de la entrada en 45nm y debajo.”

Los “Líderes del sector tales como Sematech han destacado la necesidad de la Metrología mejorada del OPC debido a las limitaciones de las herramientas actuales de la metrología del CD,” declaró a Paul Clayton, Vicepresidente, Asunto Automatizado del AFM de Veeco. “Durante el período beta, Discernimiento 3DAFM estaban conforme a la prueba extensa en una variedad de estructuras relacionadas OPC tales como líneas, los vias y la línea y los extremos del espacio. Los resultados excelentes de Nuestro cliente demostraron que el Discernimiento tiene la incertidumbre de medición más inferior de cualquier herramienta de la metrología del CD.”

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