提供 6 个系统的牛津仪器给 Nanoscience 成就卓越中心在 LBNL

牛津仪器赢取 6 个系统的指令能装备分子铸造厂在劳伦斯伯克利国家实验室 (伯克利实验室),加利福尼亚、美国、母鹿用户设备 nanoscience 的和成就卓越中心在科学研究。 被定购的牛津仪器系统包括 6 个工具 - 3 个 ICP 等离子铭刻系统, 2 个 Plasmalab®80Plus 工具和一个 FlexAL® 基本层证言工具。 系统在分子铸造厂将使用户使用等离子基于蚀刻和证言继续处理作早期工作在对 nanoscience 的研究。 ICP 系统和 FlexAL 将有新的功能为专门制作伯克利实验室的特定研究需求。

使用牛津被铭刻的硅电汇 ICP 380 10 毫微米, 20:1 长宽比。

分子铸造厂是美国能源部 (DOE)国家用户设备充电与提供技术支持给 nanoscience 研究员在院、政府和行业实验室环球。 它也提供用户以仪器、技术和合作者提高他们的 nanoscale 材料的综合、描述特性和原理的研究。

作为高技术工具和系统一位主导的提供者,牛津仪器等离子技术 (OIPT)在长期协作介入与有名望的 LBNL 研究所。 协作在伯克利实验室的分子铸造厂包括,特别地查看先进程序控制为 nanoetching 和展示 OIPT 的继续的介入的过帐博士研究员的 OIPT 的资助在科学研究。

牛津系统在区将启用分子铸造厂例如微小和纳诺缩放比例硅功能蚀刻与超平稳的侧壁的,子20 nm 功能模式调用和以远, nanoimprint 石版印刷模板和打印的等离子蚀刻和保形影片证言子毫微米控制。

标记 Vosloo,牛津仪器等离子技术备注的经销总理, “我们高兴从这样一个有名望的被设立的客户收到此订单,加下划线重要性我们在提供安置领先市场的加工技术”。

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