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使用牛津仪器的 FlexAL ALD 工具,研究员开发新颖的薄膜涂层

研究员开发了提供水晶硅太阳能电池的表面钝化的空前的级别新颖的薄膜涂层。 使用牛津仪器的 FlexAL® ALD 工具,从艾恩德霍芬科技大学的小组 (TU/e) 向显示远程等离子存款的超薄的氧化铝层 ALD 胜过现有的钝化涂层根据消灭 - 通常重大 - 电子损失在太阳能电池的和前表面。

牛津仪器’ Flexal® ALD 工具

牛津仪器自定义其为此特定应用的普遍的 FlexAL 和 OpAL™工具,导致对迅速地增长的太阳能电池行业的多个销售额。

发展实现太阳能电池重要选件类的突破效率。 这在 TU/e 和主导的 Fraunhofer 学院之间的协作最近被展示了太阳能研究 (ISE) 对德国。 效率 23.2% 为在 n 型的硅基础上的 PERL 太阳能电池得到了由一块超薄的氧化铝层的应用在太阳能电池的前线的。 迄今太阳能电池此选件类 p 型的前线是难钝化因此,并且相对效率改善 6% 是重大的预付款。

克里斯 Hodson, ALD 牛津仪器等离子技术的产品管理器对此研究高兴, “Kessels 博士,并且等离子 & 材料加工 (PMP)组在 TU/e 推进 ALD 研究限定范围到新建应用程序区。 使用我们的 ALD 工具的此关键技术突破创建实际利息,并且我确信我们与 TU/e 的持续的协作将带来进一步预付款在这和其他技术区中。

Kessels 博士评论, “表面钝化是水晶硅太阳能电池技术的一个主要争论点,控制 90% 这个光致电压的市场太阳能电池的类型。 许多薄膜涂层被学习减少电子损失在前后出现太阳能电池。 近来什么都未找到令人满意钝化在这种更加有效的 n 型的基本材料基础上的下一代太阳能电池高度被掺杂的 p 型的表面。 在 Hoex 博士期间最近 PhD 研究,我们显示史无前例高级在等离子存款的一块超薄的氧化铝层的固定负电荷 ALD 可能几乎完全地消灭电子丢失在太阳能电池表面。 氧化铝最近获取了 photovoltaics 社区的注意作为预计实现在太阳能电池设计和技术的几预付款的多才多艺和兼容材料”。

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