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使用牛津儀器的 FlexAL ALD 工具,研究員開發新穎的薄膜塗層

研究員開發了提供水晶硅太陽能電池的表面鈍化的空前的級別新穎的薄膜塗層。 使用牛津儀器的 FlexAL® ALD 工具,從艾恩德霍芬科技大學的小組 (TU/e) 向顯示遠程等離子存款的超薄的氧化鋁層 ALD 勝過現有的鈍化塗層根據消滅 - 通常重大 - 電子損失在太陽能電池的和前表面。

牛津儀器』 Flexal® ALD 工具

牛津儀器自定義其為此特定應用的普遍的 FlexAL 和 OpAL™工具,導致對迅速地增長的太陽能電池行業的多個銷售額。

發展實現太陽能電池重要選件類的突破效率。 這在 TU/e 和主導的 Fraunhofer 學院之間的協作最近被展示了太陽能研究 (ISE) 對德國。 效率 23.2% 為在 n 型的硅基礎上的 PERL 太陽能電池得到了由一塊超薄的氧化鋁層的應用在太陽能電池的前線的。 迄今太陽能電池此選件類 p 型的前線是難鈍化因此,并且相對效率改善 6% 是重大的預付款。

克里斯 Hodson, ALD 牛津儀器等離子技術的產品管理器對此研究高興, 「Kessels 博士,并且等離子 & 材料加工 (PMP)組在 TU/e 推進 ALD 研究限定範圍到新建應用程序區。 使用我們的 ALD 工具的此關鍵技術突破創建實際利息,并且我確信我們與 TU/e 的持續的協作將帶來進一步預付款在這和其他技術區中。

Kessels 博士評論, 「表面鈍化是水晶硅太陽能電池技術的一個主要爭論點,控制 90% 這個光致電壓的市場太陽能電池的類型。 許多薄膜塗層被學習減少電子損失在前後出現太陽能電池。 近來什么都未找到令人滿意鈍化在這種更加有效的 n 型的基本材料基礎上的下一代太陽能電池高度被摻雜的 p 型的表面。 在 Hoex 博士期間最近 PhD 研究,我們顯示史無前例高級在等離子存款的一塊超薄的氧化鋁層的固定負電荷 ALD 可能幾乎完全地消滅電子丟失在太陽能電池表面。 氧化鋁最近獲取了 photovoltaics 社區的注意作為預計實現在太陽能電池設計和技術的幾預付款的多才多藝和兼容材料」。

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