牛津仪器等离子技术从滑铁卢大学收到多系统订单

牛津仪器等离子技术 (OIPT)、领导先锋在系统铭刻的,证言和增长,从滑铁卢大学最近收到了多系统订单,安大略,加拿大安装的他们新的清洁的房间设备的。 被定购的处理工具是 OIPT 的 System100 ICP + System133 PECVD 和一个 FlexAL PECVD/ALD 字符串工具,以多薄酥饼批功能和潜在为提供一定数量的处理应用。

OIPT 工具提供单独强大的立场,并且 clusterable 处理模块,启用各种各样的应用和滑铁卢大学实施多个处理技术的系统。 这些包括 Bosch, Cryo 硅铭刻,化合物半导体,金属铭刻, PECVD。 另外,其中一个工具将成群提供 ALD 加工能力,存款 Al2O3 保形涂层。

OIPT 的 System100 ICP 工具

设备在清洁的房间将被安置在麦克和奥菲莉亚 Lazaridis Quantum 纳诺中心,一新科技目前进步水平现在编译建设中在滑铁卢校园中心大学。 这个设备,在 2011年指定为完成,将共享在量子计算学院和纳米技术滑铁卢学院之间。

设备采购由慷慨的技术支持 IQC 使成为可能从创新的加拿大基础接受、安大略研究经费、滑铁卢大学和新的大厦的同名的人,麦克和奥菲莉亚 Lazaridis。

牛津仪器通过科学技术继续处理负责的发展和对这个世界的更加深刻的理解,并且另一个新的大学研究所的此指令是遗嘱对该承诺

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit