卡尔蔡司猎户星座加上氦气离子显微镜在子毫微米想象之外移动向极小制作

科学家当前调查氦气离子显微学的新的用途在纳诺仿造。 因为它没有由常规 e 射线石版印刷的邻近效应限制,氦气离子技术似乎是有前途的替代,特别是当谈到打印更加细致的功能。

二年, ORION® 加上氦气从卡尔蔡司的离子显微镜为其在想象未上漆的绝缘的范例和软的材料的优秀知道与子毫微米解决方法 (解决方法说明 < 0.35 毫微米)。 现在与猎户星座仪器 - 学术和行业 R&D 显微镜家一个增长的产品安装信息库扩大应用分集包括极小制作。

当其他小组展示了在 HSQ 的很好描述的 L 棒线路抵抗时,研究员仿造了在 14 毫微米间距的 5 个毫微米小点。 模式保真度此新的政权由大景深显微镜的启用,并且由短程在典型的离子被启动的二次电子请抵抗材料。 氦气离子在 HSQ 的被定义的模式可能容易地得到,不用通常缩小的处理视窗约束经常与常规光学和 e 射线石版印刷相关。

根据韦吴,一个新的猎户星座客户和一位高级研究科学家在 Stan 威廉的 HP 实验室的信息和量子论系统实验室在帕洛阿尔托,加利福尼亚, “我们盼望促进我们的关于最小的可能的纳诺电子和纳诺光子的功能的制造和想象的研究。 我们看见猎户星座导航作为将使我们继续我们破纪录的研究的一个唯一,强大的工具”。

要了解更多关于此扣人心弦的发展,请参观卡尔蔡司 SMT 摊在国际显微学国会 (IMC17) 在里约热内卢,巴西,在您 9月 19-24, 2010年或者与卡尔蔡司 SMT 销售代理商联系。

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