カールツァイスおよび Synopsys はフォトマスクの製造業のための内部ダイス登録度量衡学で協力します

、一流の製造者および Synopsys Gmbh、フォトマスク度量衡学および修理ツールのためのカールツァイス SMS Inc. (NASDAQ: SNPS)、ソフトウェアの各国指導者および半導体デザイン、確認および製造業のための IP は、今日の以下の内部ダイスの度量衡学の解決 32 ナノメーターの技術ノードのためのツァイスのツールグループをサポートするために (nm)共同を発表しました。

Synopsys はツァイス」 PROVE™の次世代登録度量衡学のツールのためのサポートを、 Synopsys」 CATS™による、技術一流マスクデータ準備の解決提供します。 データ準備エンジンとして猫を使用して、 PROVE 使用しているマスクエンジニアは厳しいオーバーレイ正確さの条件を満たす登録度量衡学システムの改善された効率そして有用性から寄与できます。

猫によるマスクデータ準備は更に PROVE の効率を増強します。

次の技術ノードに 193 nm 石版印刷を拡張するために必要な強い光学近さの訂正および二重模造の技術はより大きいフォトマスクパターン配置の正確さを要求します。 システムが 193 nm 照明の光学の革新の概念のこれらの増加する需要に応じることを新しいの証明します。 それは登録標記を置かないで最も小さい生産機能の測定のための内部ダイスの度量衡学の機能を提供しま、マスクの重要なエリアの登録を測定し、分析することをマスクメーカーが可能にします。

限られた顧客アベイラビリティの新しい猫のモジュールは、現在 2011 年 3 月に一般に利用可能、フォトマスクの度量衡学ジョブのセットアップのための速く、効率的な十分に自動化された流れを可能にし。 業界標準の開いたフォーマット OASIS.MASK および XML を使用して、高度のマーキングの機能および証明の二次元の (第 2) 相関関係方法の猫は慣習的なイメージ分析スキームに重要な機能拡張を提供します。 革新的な方法は画像と端だけに基づいて 1D 測定を使用して標準的な方法と比較されるより高い測定の正確さに終って PROVE によって、捕獲されるマスクで猫が提供するマスクの第 2 デザインクリップを比較します。

「Synopsys の」内部ダイスの度量衡学のマスクデータ準備およびカールツァイス」ノウーハウの長期経験と、エキサイティングな機能の新しい猫のモジュールはかなり任意の生産機能のマスクの登録エラーを減らすのを助けます」先生を言いましたダーク Beyer、 Gmbh カールツァイス SMS の PROVE のためのプロダクトマネージャー。

登録エラーは解像度の限定無しで各マスクのために今量を示すことができまマスクの製造業者に二重模造およびマスクにマスクオーバーレイの配置のエラーを減らすための全く新しいツールを与えます。

カールツァイスとの 「Synopsys」の共同広範囲の石版印刷、点検の提供に私達の責任を例証し、マスクの製造業への度量衡学の解決は」は、言いました、ファビオ Angelillis をグループを設計している Synopsys のための工学の副大統領」のケイ素を販売します。 「サポートに猫を伸ばすことによって証明して下さい、私達は 32 ナノメーターの技術ノードで私達の顧客に良質の度量衡学の解決を提供しています以下に」、彼は付け加えました。

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