| Die ZIELE 
Instrument Genauigkeit Die Typischen Genauigkeiten, die von diesen hervorragenden Instrumenten erreichbar sind, sind: · Länge: + 1 nm über 25 mm oder 1.000 mm · Schwingung: + 1 nm über 25 mm · Winkel: + 0,01 Bogensekunden in 40 Lichtbogenminuten · Gasbrechungsvermögen: 2 x 10-8 über unbegrenzter Reichweite · Flüssiges Brechungsvermögen: 1 x 10-6 über unbegrenzter Reichweite Instrument Konfigurationen Alle Instrumentkonfigurationen werden um das AIMS™-Interferometer aufgebaut (Anpassungsfähige Interferometric Metrologie-Anlage). Dieses verwendet einen Heliumneon Lasersender und einen Jamin-Artigen Strahlenteilerblock ein zu, welchen befestigte passende Blöcke für jedes bestimmte Maßszenario sind. Vorteile des ZIELE Interferometers Die Auslegung des AIMS™-Interferometers hat die folgenden unterscheidenden Vorteile: · Maximale Flexibilität · Nanometric-Fähigkeit · Modularbauweise · Selbstausrichtung · Ultra-Stabil · Benutzerfreundlichkeit · Anwendbar auf feindliche Umgebungen · Prozessor gesteuert · Modulierter Bezugsrückstrahler Maximale Flexibilität Die innovative, patentierte optische Konfiguration wird als permanent eingebautes Instrument verwendet werden oder in Abnehmer-festgelegte Kleinteile enthalten möglicherweise. Nanometric-Fähigkeit Die optische Auslegung des AIMS™-Interferometerstrahlenteilers beseitigt automatisch unerwünschte Reflexionen von der optischen Anlage. Nur die unvermeidbaren „Selbst ausgerichtete“ Umherirrender zusammenfallend mit dem Gebrauch von Würfelecke Rückstrahlern bleiben in der Anlage und die Effekte „des schlimmsten Falls“ von diesen ist beträchtlich unterhalb der subnanometric Pfadunterschiedstufe. Ideal entsprochen für berührungsfreies, zerstörungsfreies Distanzadressemaß für MEMS-Einheiten. Modularbauweise Verschiedene kosteneffektive Blöcke werden ohne irgendeinen Kompromiss der Leistung verwendet möglicherweise. SelbstAusrichtung Die Bezugs- und Maßträger werden automatisch in eine geläufige Richtung mit den Rückstrahleranlagen ausgerichtet, die in der gleichen „Waffe“ jedes Interferometers sind. Dieses ergibt „Geläufigpfad“ und „null Totpfad“ Maßeigenschaften für das Instrument. Ultra-Stabil Jedes Interferometer wird um eine innovativer Geläufigpfad optische Konfiguration konstruiert, die sicherstellt, dass die Anlage zu unerwünschten mechanischen Änderungen unempfindlich ist und Luftbrechungskoeffizient ändert. Benutzerfreundlichkeit Der Gebrauch von Würfelecke Rückstrahlern benötigt nur zwei verhältnismäßig grundlegende Ausrichtungen, damit das Interferometer, diese arbeitet, die die Aufeinanderschichtung der Bezugs- und Maßträger zu Formular Interferograms sind und damit diese Interferograms auf Fotodetektoren fallen. Optimaler Kontrast wird verwirklicht, wenn die zwei Träger vollständig gelegt werden. Anwendbar auf Feindliche Umgebungen Indem man den Bezug und die beweglichen Rückstrahler durch ein optisches Fenster der geeigneten Qualität prüft, kann das Interferometer in den extrem feindlichen Umgebungen, das Instrument betrieben werden, das hohe Präzision „Geläufigpfad“ Maß verwirklicht, während total getrennt worden von der Umgebung. Der Messbereich des Instrumentes wird durch die Kohärenzlänge der Strahlenquelle gesteuert, die gewählt wird und „gleichen Sie Reichweite“ durch die Abweichung vom Laserstrahl aus. Prozessor Gesteuert Eine kundenspezifische elektronische Verarbeitungseinheit stellt sicher, dass jedes Interferometer mit optimaler Leistung funktioniert. Die Verarbeitungseinheit erlaubt auch, Daten vom Interferometer werden, außen in einem PC angezeigt zu werden oder gespeichert. Modulierter BezugsRückstrahler Das Modulatorgerät, zusammen mit seinem elektronischen Treibergerät wird eingesetzt, um den Strahlengang im Interferometer elektromechanisch zu scannen. Dieses ermöglicht die optische Ausrichtung der Anlage und die Kalibrierung der mathematischen Technik, die in der Software eingesetzt wird, um die elektronischen Signale zu optimieren. Die Regelung, die vom Gerät bereitgestellt wird, garantiert, dass die ZIELE Interferometeranlage verwirklicht nanometric Maßempfindlichkeit und -präzision.' Merkmale Das eindeutige Rückstrahlergerät enthält optische Ausrichtungsbediengeräte und der Interferometerkopf enthält eine Mikroverarbeitungsbehörde für die Opto-elektrische Signalaufbereitung und automatische elektronische Optimierung. Das Instrument ist zu den mechanischen Änderungen unempfindlich und setzt den Bedarf am Totpfad Fehlerausgleich herab. 
Technische Sonderkommandos | | | Messbereich (mm) |
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| | OffsetReichweite (M) |
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| | Systemauflösung (nm) |
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| | Nominale Laser-Wellenlänge (nm) |
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| | Laser-Frequenz-Stabilität | -8 | -8 | | Bedienen (°C) |
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| | Atmosphärischer R.i. Variation Correction | | | | - Standard | -6 | -6 | | - Gas-Zelle Enthalten | -8 | -8 | | Rückstrahler Automatische Elektronische Optimierung | | | | Rückstrahler Übersetzungs-Kinetik (mm/s) |
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| | Bezugsrückstrahler (mm) |
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| | Beweglicher Rückstrahler (mm) |
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| | Inferometer-Kopf (mm) |
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| | - Vorverstärker-Behörde (Sünde/Lattich-Analogausgänge) | | | | - Mikroprozessor-Behörde (Opto-Elektrische Signalaufbereitung) | | | | Schnittstelle: Serienmäßig |
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| | Zuleitung Spannung (V) |
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| | Zeilenfrequenz (Hz) |
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