| 목표 
계기 정확도 이 걸출한 계기에서 획득 가능한 전형적인 정확도는: · 길이: + 25 mm 1,000 mm 이상 1 nm · 진동: + 25 mm 이상 1 nm · 각: + 40의 아크 분 이상 0.01 아크 초 · 가스 굴절도: 2 x 무제한 범위에 10-8 · 액체 굴절도: 1 x 무제한 범위에 10-6 계기 윤곽 모든 계기 윤곽은 AIMS™ 간섭계 (적합한 간섭 측정 도량형학 시스템)의 주위에 건설됩니다. 이것은 각 특정한 측정 대본을 위한 붙어 있던 적합한 모듈은인지 어느 것에 헬륨 네온 레이저 소스 및 Jamin 모형 광속 분리기 구획을 위에 이용합니다. 목표 간섭계의 이점 AIMS™ 간섭계의 디자인에는 뒤에 오는 특유한 이점이 있습니다: · 최대 유연성 · Nanometric 기능 · 모듈 디자인 · 자동 줄맞춤 · 매우 안정되어 있는 · 사용 용이 · 적대하는 환경에 적용 가능한 · 통제되는 처리기 · 조절된 참고 retro 반사체 최대 유연성 혁신 적이고, 특허가 주어진 광학적인 윤곽은 영구히 설치된 계기로 사용되거나 고객 지정한 기계설비로 통합될 수 있습니다. Nanometric 기능 AIMS™ 간섭계 광속 분리기의 광학적인 디자인은 광학계에서 자동적으로 쓸모 없는 반영을 삭제합니다. 단지 피할 수 없는 것 "시스템에서 입방체 구석 retro 반사체의 사용 동시에 생기는 각자에 의하여 맞추어진" 무숙자 남아 있고 이들의 "나쁜 케이스" 효력은 subnanometric 행로차 수준의 밑에 중요하게 있습니다. 비 접촉을 위해 이상적으로 적응시켜, MEMS 장치를 위한 비파괴적인 진지변환 측정. 모듈 디자인 다른 비용 효과적인 모듈은 성과의 어떤 타협도 없이 이용될 수 있습니다. 자동 줄맞춤 참고와 측정 光速는 각 간섭계의 동일 "무기에" 있는 retro 반사체 시스템을 일반적인 방향에서 자동적으로 맞추어집니다. 이것은 계기를 위한 "모두 일반 경로"와 "0의 죽 경로" 측정 특성 귀착됩니다. 매우 안정되어 있는 각 간섭계는 지키는 혁신적인 일반 경로 광학적인 윤곽의 주위에 시스템은 쓸모 없는 기계적인 변경에게 무신경하 공기 R.i.는 변경한다는 것을 디자인됩니다. 사용 용이 입방체 구석 retro 반사체의 사용은 광검출기에 떨어질 것이다 이 interferograms 작용하도록 간섭계가를 위해, 양식 interferograms에 참고와 측정 光速의 중첩인 이들 그리고 단지 2개의 상대적으로 기본적인 줄맞춤만 요구합니다. 최적 대조는 2개의 光速가 완전하게 첨가될 때 실현됩니다. 적대하는 환경에 적용 가능한 적당한 질 광학적인 Windows를 통해서 참고 그리고 이동하는 retro 반사체를 검토해서, 간섭계는 극단적으로 적대하는 환경, 높은 정밀도 "일반 경로" 측정을 실현하는 계기에서 환경에서 완전히 고립시켜 하는 동안 작전될 수 있습니다. 계기의 측정 범위는 선택된 방사선샘의 결맞음 길이에 의해 통제되고 "레이저 광선의 분기에 의하여 범위"를 오프셋하십시오. 통제되는 처리기 주문 설계되는 전자 처리 장치는 각 간섭계가 최적 성과로 작동한다는 것을 지킵니다. 처리 장치는 또한 간섭계에서 데이터가 외면적으로 PC에서 디스플레이되거나 저장되는 것을 허용합니다. 조절된 참고 Retro 반사체 그것의 전자 운전사 부대와 함께 변조기 부대는, 전기 기계로 간섭계에 있는 광학적인 경로를 검사하기 위하여 채택됩니다. 이것은 시스템의 광학적인 줄맞춤 및 전자 시그날을 낙관하기 위하여 소프트웨어에서 채택된 수학 기술의 구경측정을 둘 다 촉진합니다. 부대에 의해 제공된 통제는 목표 간섭계 시스템이 nanometric 측정 감도 및 정밀도를 둘 다.' 실현한다는 것을 확인합니다 특징 유일한 retro 반사체 부대는 광학적인 줄맞춤 통제를 통합하고 간섭계 헤드는 opto 전기 신호 처리 및 자동적인 전자 최적화를 위한 초소형 연산 처리 장치 널을 포함합니다. 계기는 기계적인 변경에게 무신경하 죽 경로 과실 대상을 위한 필요를 극소화합니다. 
기술적 세부사항 | | | 측정 범위 (mm) |
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| | 오프셋 범위 (M) |
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| | 시스템 해결책 (nm) |
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| | 명목상 레이저 파장 (nm) |
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| | 레이저 주파수 안정성 | -8 | -8 | | 작전 (°C) |
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| | 대기 R.i. Variation Correction | | | | - 기준 | -6 | -6 | | - 통합되는 가스 전지 | -8 | -8 | | Retro 반사체 자동적인 전자 최적화 | | | | Retro 반사체 번역 비율 (mm/s) |
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| | 참고 Retro 반사체 (mm) |
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| | 이동하는 Retro 반사체 (mm) |
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| | Inferometer 헤드 (mm) |
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| | - 전치 증폭기 널 (죄악/Cos 아날로그 산출) | | | | - 소형 처리기 널 (Opto 전기 신호 처리) | | | | 공용영역: 연속되는 |
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| | (v) 공급 선 전압 |
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| | 공급 선 주파수 (Hz) |
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