AIMS的干涉 代表超過20年 ，業界領先的開發易於使用，可靠的產品，已專門為每個測量中的應用進行了優化。  儀器的準確度 從這些優秀的工具索取的典型精度 ： · 長度：+ 1納米超過25毫米或1000毫米 · 振動：+ 1納米超過25毫米 · 角度：+ 0.01弧秒超過40弧分 · 氣體折射率：2 × 10-8以上範圍無限 · 液體折射率：1 x 10-6範圍無限的 儀器配置 所有儀器的配置都是圍繞AIMS™干涉儀（自適應干涉測量系統） 。 採用氦氖激光光源和一個憫型分光鏡塊附加相應的模塊為每個特定的測量場景。 AIMS的干涉的優點 AIMS™干涉儀的設計具有以下獨特優勢： · 最大的靈活性 · 納米能力 · 模塊化設計 · 自動校準 · 超穩定 · 易於使用 · 適用於惡劣的環境 · 處理器控制 · 調製參考反射器 最大的靈活性 創新，專利的光學配置，可作為永久安裝的儀器或合併到客戶指定的硬件。 納米能力 ™干涉分束器的光學設計目標 ，，光學系統自動消除不必要的反射。 不可避免的“自對準”流浪的立方體角反射器的使用伴隨保留在系統中的“最壞情況”這些影響顯著低於subnanometric路徑差異水平 。 非常適合於非接觸式，非破壞性的MEMS器件的位移測量 。 模塊化設計 可利用不同的成本有效的模塊沒有任何妥協的性能。 自動對齊 在一個共同的方向，在相同的“手臂”每個干涉與反射器系統參考和測量光束自動對齊 。 在雙方“共同的路徑”和“零死路徑”測量儀器特性的結果。 超穩定 每個干涉是圍繞著一個創新的共同路徑的光學配置設計，從而確保系統是不必要的機械變化和空氣折射率的變化不敏感。 易於使用 立方體角反射器的使用，只需要兩個基本功能干涉路線，這些形式的干涉，這些干涉落在光電探測器的參考和測量光束的疊加。 當兩束完全疊加，實現最佳的對比度 。 適用於惡劣環境 研究參考，並通過合適的高質量的光學窗口的移動反射器，干涉儀可以在極其惡劣的環境中進行操作，實現高精度的儀器“的共同路徑”測量，而從環境完全隔絕。 該儀器的測量範圍是選擇源輻射和激光束的發散“的偏移範圍”的相干長度控制。 處理器控制 定制設計的電子處理單元，確保每個干涉儀的最佳性能運行。 處理單元還允許外部干涉儀的數據顯示或存儲在一台PC機 。 調製參考反射器 調製器的單位，連同其電子驅動裝置採用電動機械掃描的干涉光路。這有利於系統的光學對準和數學技術，在軟件優化的電子信號的校準。單位所提供的控制， 確保AIMS干涉儀，實現對納米測量靈敏度和精度。 “ 特點 獨特的反射器單元集成光學對齊控制和干涉頭包含一個微處理電路板的光電信號處理和自動電子優化。 該儀器是機械的變化不敏感，最大限度地減少死路徑誤差補償的需要。  技術細節 | 測量範圍（mm） | 至1000mm | 25毫米 | 偏移範圍（M） | 高達1M | 高達1M | 系統分辨率（納米） | 下到1nm的 | 下到1nm的 | 標稱激光波長（nm） | 632.8 | 632.8 | 激光頻率穩定度 | 2X10 -8 | 2X10 -8 | 工作 溫度 範圍 （℃） | 15-30 | 15-30 | 大氣折射指數的變化校正 | | | -標準 | 1 × 10 -6 | 1 × 10 -6 | -煤氣細胞團 | 5X10 -8 | 5X10 -8 | 回复反射器自動電子優化 | | | 翻譯鏡面反射率（mm / s的） | 300 | 300 | 參考鏡面反射（毫米） | 38 | 38 | 移動鏡面反射（毫米） | 15 | 15 | Inferometer頭（毫米） | 98x96x56 | 98x96x56 | -前置放大器板（模擬輸出SIN / COS） | | | -微型處理器板（的光電信號處理） | | | 接口：串口 | RS - 232 | RS - 232 | 供應線的電壓（V） | 100-240 | 100-240 | 供應線的頻率（Hz） | 47-60 | 47-60 |
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