Reflectância Visível Ultravioleta Microspectroscopy de NIR de Bolachas de Semicondutor Usando o Equipamento das Tecnologias de CRAIC

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Fundo
Microspectroscopy de Bolachas de Semicondutor
Experimental e Resultados

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As Tecnologias de CRAIC são os mundos que conduzem o revelador de instrumentos científicos da escala Uv-visível-NIR para a microanálise. Estes incluem os instrumentos Uv-visíveis-NIR do microspectrophotometer da série de QDI projetados ajudá-lo non-destructively a medir as propriedades ópticas de amostras microscópicas. Os microscópios da série do UVM de CRAIC cobrem a escala UV, visível e de NIR e ajudam-no a analisar com definições submicrónicas para além da escala visível. As Tecnologias de CRAIC igualmente têm o microspectrometer de Raman da série do CTR para a análise não-destrutiva de amostras microscópicas. E não esqueça que CRAIC suporta orgulhosa nossos produtos do microspectrometer e do microscópio com assistência e apoio ímpar.

Microspectroscopy de Bolachas de Semicondutor

a análise microspectroscopic Uv-visível-NIR de filmes finos em bolachas de semicondutor é uma das aplicações as mais comuns da técnica.  Na escala Uv-visível-NIR, os espectros da interferência podem ser usados para determinar a espessura dos filmes depositados em uma bolacha de silicone.   Entre as vantagens da técnica é o facto de que o mais adicionais no UV as medidas estão feitos, o diluidor os filmes que podem ser analisados.  Inversamente, o instrumento pode igualmente determinar espessuras de filme grosso movendo-se mais nas regiões do comprimento de onda vermelho ou mais longo do espectro.  Além, microspectroscopy Uv-visível-NIR é não-destrutivo e a preparação da amostra é mínima.  A finalidade deste papel é detalhar o serviço público da técnica e mostrar alguns resultados da amostra.

Experimental e Resultados

Uma microplaqueta impressa do semicondutor do teste é usada como uma amostra.  O silicone Desencapado é usado como a referência.  Nenhuma preparação mais adicional é exigida.  A amostra está agora pronta para analisar através de microspectroscopy.

Um microspectrophotometer Uv-visível-NIR da escala de QDI 100™ foi usado para a análise.  A série do Instrumento da Detecção do Quantum (QDI) de microspectrophotometers é projectada detectar as mudanças as menores nos espectros de amostras microscópicas.  O microspectrophotometer de QDI 100™ caracteriza um detector científico do CCD da disposição da categoria, definição espectral refrigerando, alta de TE, estabilidade, de baixo nível de ruído a longo prazo, e a capacidade adquirir a transmissão, a reflectância, e os espectros da fluorescência das amostras tão pequenas quanto 1 x 1 mícrons.  

A amostra é colocada no QDI 100™ e a imagem é adquirida.  O microscópio estabelece-se para a iluminação de Koehler com iluminação da reflectância.  Figura 1 indica uma imagem da microplaqueta do semicondutor analisada.  O software aperfeiçoa automaticamente o instrumento e os espectros são adquiridos simplesmente colocando o quadrado preto sobre a área da camada de pintura a ser analisada.  Um espectro é adquirido e o resultado é armazenado no computador para uma análise mais atrasada.

Figura 1. Imagem da microplaqueta do semicondutor.  O quadrado preto é a abertura do microspectrophotometer.

Figura 2 mostra os resultados de fazer a varredura cada secção colorida na microplaqueta.  Figura 2 é espectros de uma folha de prova do espectro da reflectância de secções azuis, vermelhas e brancas.  A escala espectral é de 200 a 850 nanômetro usando uma lâmpada de xénon estabilizada e um detector do CCD.  O espectro é a média de 50 varreduras em 100 milissegundos pela varredura com uma abertura de 10 x 10 mícrons.


Figura 2. lote Overlay dos espectros da reflectância das secções brancas e azuis vermelhas.

Figura 3 mostra os resultados de tomar espectros da secção azul em cinco lugar diferentes na microplaqueta.  Isto prova a estabilidade e a reprodutibilidade altas do instrumento.  Se for necessário, a espessura dos filmes para cada secção podia então ser determinada.

Figura 3. lote Overlay dos espectros da reflectância das camadas do azul tomadas em cinco lugar diferentes.

É simples adquirir a informação espectral e os testes padrões de interferência dos vários lugar em um semicondutor lascam-se non-destructively.  A qualidade dos resultados do microspectrophotometer de QDI 100™, em termos dos espectros e das imagens de alta resolução, parte traseira esta afirmação.  Usando o software opcional, a espessura dos filmes depositados em cada lugar podia igualmente ser determinada, além do que a construção de uma base de dados para o QC purposes.

Autor Preliminar: Dr. Paul Martin
Source: Reflectância Ultravioleta-Visível-NIR Microspectroscopy de Bolachas de Semicondutor
Para obter mais informações sobre desta fonte visite por favor Tecnologias de CRAIC

Date Added: Apr 28, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 18:20

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