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Determinação do R.I. de Y2O3 no Vidro e em Carcaças Pre Evaporadas por Ellipsometry Espectroscópica Usando o Equipamento de Horiba Científico - Filme Fino

Assuntos Cobertos

Fundo
Preparação da Amostra
Resultados
Caracterização de YO23 no Vidro
Caracterização de YO23 em ZrO2
Conclusão

Fundo

Os filmes23 de YO são bons materiais para o uso em muitas aplicações tais como a protecção dos revestimentos de espelho do alumínio e da prata, camadas intermediárias em revestimentos visíveis da AR da faixa larga e para o laser AR de XeCl e os projectos do espelho do dielétrico. Os filmes23 de YO são duramente e geralmente amorfos com adesão alta ao vidro, ao germânio, ao silicone, ao sulfureto do zinco e ao selenide do zinco assim como aos metais tais como o alumínio e a prata. Em alguns casos, uma camada muito fina de yttria pode servir como um promotor da aderência para revestimentos multilayer em carcaças do não-óxido. Este material é do media-deslocamento predeterminado e muito transparente sobre a escala próximo-UV (300 nanômetro) à região do IR (11ìm).

Muitos métodos foram usados para produzir filmes do yttria tais como o depósito térmico reactivo, o depósito do e-feixe, o depósito e engasgar (IAD) ajudados íon do magnétron. Porque os deslocamentos predeterminados refractive são dependentes do processo que é importante conhecer com precisão alta as constantes ópticas e as espessuras dos filmes, especialmente quando forem usados como materiais altos do R.I. e em combinação com uns materiais mais altos do deslocamento predeterminado tais como TiO2 e TaO25.

Esta nota descreve como o UVISEL Ellipsometer Com modulação de fase Espectroscópica de Horiba Científico foi usado para caracterizar a influência da carcaça ao crescimento de YO23, isso é a diferença das propriedades ópticas do filme23 de YO crescido na carcaça de vidro amorfa e de esse crescidas em camadas pre-evaporadas de ZrO2.

Preparação da Amostra

Os filmes foram preparados pela evaporação do feixe de elétron em uma atmosfera reactiva do oxigênio. Os materiais começar eram grões de YO23. As carcaças de vidro tinham 5 milímetros grossas e foram giradas durante o depósito para melhorar a uniformidade dos filmes. No estreio dois as carcaças de vidro desencapadas foram postas na câmara e em um filme2 de ZrO depositados. Para segunda a carcaça de vidro desencapada da corrida uma e a amostra do estreio com ZrO pre-evaporado2 foram colocados na câmara e uma camada23 de YO foi depositada.

Três amostras foram preparadas e caracterizadas como segue.

  • Sample1: Monolayer2 de ZrO (Veja a Nota de Aplicação, Referência: SE06),
  • Amostra 2: Monolayer23 de YO,
  • Amostra 3: YO23 em ZrO2 pre-evaporou.

Resultados

O trabalho foi executado usando o Horiba UVISEL Científico Ellipsometer Espectroscópica Visível. As medidas Elipsométricas foram feitas em um ângulo da incidência de 70° através da escala espectral 300-830 nanômetro. Ambos Os deslocamentos predeterminados refractive e espessuras foram extraídos da análise de dados do SE. As constantes ópticas eram determinadas usando a fórmula do Oscilador de Lorentz abaixo:

Caracterização de YO23 no Vidro

YO23 é um media-deslocamento predeterminado e um baixo material da absorção. Alguma quantidade de heterogeneidade do deslocamento predeterminado pode aparecer com espessura crescente da camada. O efeito pode ser reduzido fornecendo o suficiente oxigênio aterra durante a evaporação. Como com a amostra2 de ZrO (UM SE-06) uma grande melhoria ao valor do ² do ÷ foi encontrada com um modelo de camada dois, com a camada superior que é porosa. Usar o software Médio Eficaz (EMA) da Aproximação DeltaPsi2 (DP2) pode determinar o grau de porosidade comparado à camada na carcaça, e neste caso encontrou-se para ser 25%.

Figura 1. YO23 /Vidro

 

Figura 2. constantes23 Ópticas de YO

Caracterização de YO23 em ZrO2

Esta amostra foi caracterizada Em primeiro usando as constantes ópticas encontradas dos resultados precedentes. Os Bons valores para os filmes foram obtidos, mas encontrou-se que os resultados poderiam ser melhorados pelo uso de uma estrutura ligeira mais complicada.

Diversas aproximações foram seguidas (camada da relação entre os dois filmes), mas o modelo final que melhorou significativamente o ajuste, era a optimização das espessuras23 de YO, dos deslocamentos predeterminados e dos parâmetros da porosidade. Nos resultados finais a variação23 de YO em um R.I. entre duas amostras era aproximadamente 0,02.

Figura 3. YO23 /ZrO2 /Vidro

 

Figura 4. Constantes Ópticas23 Novas de YO

Conclusão

As condições do depósito geraram as camadas porosas inhomogeneous que foram observadas pelo UVISEL Ellipsometer Com modulação de fase Espectroscópica. Além Disso, as medidas espectroscópicas permitem a determinação das discrepâncias pequenas entre as constantes ópticas de um filme23 de YO crescido na carcaça desencapada e essa crescida em um filme2 de ZrO.

Source: Horiba Científico - Divisão dos Filmes Finos

Para obter mais informações sobre desta fonte visite por favor Horiba Científico - Divisão dos Filmes Finos

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:20

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