Определение R.I. Y2O3 на Стекле и Pre Испаренных Субстратах Спектроскопическим Ellipsometry Используя Оборудование от Horiba Научного - Тонкий Фильм

Покрытые Темы

Предпосылка
Подготовка Образца
Результаты
Характеризация YO23 на Стекле
Характеризация YO23 на ZrO2
Заключение

Предпосылка

Фильмы23 YO хорошие материалы для пользы в много применений как предохранение покрытий зеркала алюминия и серебра, промежуточных слоев в покрытиях AR широкого диапазона видимых и для лазера AR XeCl и конструкций зеркала диэлектрика. Фильмы23 YO крепко и обычно аморфически с высоким прилипанием к стеклу, германему, кремнию, сульфиду цинка и селениду цинка так же, как к металлам как алюминий и серебр. В некоторые случаи, очень тонкий слой yttria может служить как промоутер придерживания для разнослоистых покрытий на субстратах non-окиси. Этот материал средств-индекса и очень прозрачно над близко-UV рядом (300 nm) к зоне ИК (11ìm).

Много методов были использованы для того чтобы произвести фильмы yttria как реактивное термальное низложение, низложение e-луча, помогать ионом низложение (IAD) и sputtering магнетрона. По Мере Того Как рефрактивные индексы зависел на процессе важно знать с высокой точностью оптически константы и толщины фильмов, специально когда они использованы как высокие материалы R.I. и в комбинации с более высокими материалами индекса как TiO2 и Дао25.

Это примечание описывает как UVISEL Спектроскопическим Ellipsometer Модулируемое Участком от Horiba Научного было использовано для того чтобы характеризовать влияние субстрата к росту YO23, то разница оптически свойств фильма23 YO, котор росли на аморфическом стеклянном субстрате и одного, котор росли на pre-испаренных слоях ZrO2.

Подготовка Образца

Фильмы были подготовлены испарением луча электронов в реактивной атмосфере кислорода. Первоначальные материалы были зернами YO23. Стеклянные субстраты были 5 mm толщины и были вращаны во время низложения для того чтобы улучшить единообразие фильмов. В первом прогоне 2 чуть-чуть стеклянные субстраты были положены в депозированные камеру и2 фильм ZrO. Для второе субстрата бега одного чуть-чуть стеклянного и образца от первого прогона с pre-испаренным ZrO2 поместил в камеру и слой23 YO был депозирован.

3 образца были подготовлены и были охарактеризованы следующим образом.

  • Sample1: Монослой2 ZrO (См. Примечание по Применению, Ref: SE06),
  • Образец 2: Монослой23 YO,
  • Образец 3: YO23 на ZrO2 pre-испарилось.

Результаты

Работа была выполнена используя Horiba Научное UVISEL Видимое Спектроскопическое Ellipsometer. Ellipsometric измерения были сделаны под углом падения 70° через спектральный ряд 300-830 nm. Обе рефрактивных индексы и толщины были извлечены от анализа данных SE. Оптически константы были решительно используя формулу Генератора Lorentz ниже:

Характеризация YO23 на Стекле

YO23 средств-индекс и низкий материал абсорбциы. Некоторое количество inhomogeneity индекса может появиться 0Nс увеличением толщиной слоя. Влияние может быть уменьшено путем обеспечивать достаточный кислород backfill во время испарения. Как с образцом2 ZrO (SE-06) большое улучшение к значению ² ÷ было найдено с моделью слоя 2, при верхний слой пористо. Используя Эффективное Средств Приближение (EMA) DeltaPsi2 (DP2) ПО может определить степень пористости сравненную к слою на субстрате, и в этот случай было найдены, что было 25%.

Диаграмма 1. YO23 /Стекло

 

Диаграмма 2. константы23 YO Оптически

Характеризация YO23 на ZrO2

Для начала этот образец был охарактеризован используя оптически константы найденные от предыдущих результатов. Хорошие значения для фильмов были получены, но было найдено что результаты смогли быть улучшены при помощи немножко более осложненной структуры.

Были следовать Несколько подходов (слой интерфейса между 2 фильмами), но окончательная модель которая значительно улучшила пригонку, было оптимизированием толщин23 YO, индексов и параметров пористости. В окончательных результатах изменение23 YO в R.I. между 2 образцами было около 0,02.

Диаграмма 3. YO23 /ZrO2 /Стекло

 

Диаграмма 4. Новые Константы23 YO Оптически

Заключение

Условия низложения производили негомогенные пористые слои которые наблюдались UVISEL Спектроскопическим Ellipsometer Модулируемым Участком. Сверх Того, спектроскопические измерения позволяют определению малых несоответствий между оптически константами фильма23 YO, котор росли на чуть-чуть субстрате и одним, котор росли на фильме2 ZrO.

Источник: Horiba Научное - Разделение Тонких Фильмов

Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите Horiba Научное - Разделение Тонких Фильмов

Date Added: May 22, 2008 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 21:23

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit