NanoPatterning e Motor do Visualização (NPVE) - Controle Revolucionário do Feixe e Imagem Lactente Extrema do Campo de visão por Carl Zeiss

Assuntos Cobertos

Controle Revolucionário do Feixe e Imagem Lactente Extrema do Campo de visão
Características e Aplicações de NPVE
Construtor da Disposição
Receitas da Operação
Características Adicionais
Características de NPVE
Formas Básicas
Parâmetros de Modelação
Formas Vagas
Modelação Paralela
Formas Feitas A Varredura Vector
Ajuste Operações
Estilos de Modelação
Suficiência Deslocada
Modelação Viva da Vista
MENTIR o Texto
Folha De Prova da Imagem

Controle Revolucionário do Feixe e Imagem Lactente Extrema do Campo de visão

O Motor de NanoPatterning e de Visualização (NPVE) expande as capacidades de seu sistema da duplo-coluna às alturas novas. Como um serviço adicional a seu sistema de Carl Zeiss, o NPVE permite a prototipificação rápida das características dos nanômetros aos milímetros, o controle extensivo sobre parâmetros de modelação e a imagem lactente extrema do campo de visão até 1 GigaPixel pela imagem, tudo em uma interface de utilizador integrada, intuitiva.

O NPVE reune a tecnologia dupla do gerador da varredura de 16 bits e o hardware supersampling com uma vírgula flutuante, motor da aquisição do sinal da varredura do vector. Operado através de uma interface de utilizador intuitiva, o NPVE integra lisamente o controle simultâneo do FIB-SEM (CrossBeam®) e SEM, imagem lactente do tempo real durante a modelação e controle automatizado do microscópio com SmartSEM. Simples aprender contudo extremamente poderoso, o sistema de NPVE é a solução de escolha para uma vasta gama de aplicações de NanoPatterning e de Imagem Lactente. Sua acessibilidade permite que mesmo os usuários do principiante comecem a resolver problemas complexos em nanoprototyping, com ou sem a química do gás, rapidamente e facilmente.

O NPVE combina a capacidade extensiva, flexível de NanoPatterning com o Visualização cada vez mais vital dos sinais gerados pelo feixe de modelação, reunindo uma riqueza de informação que complementa as capacidades existentes da imagem lactente dos instrumentos de CrossBeam®.

Além do que as características de NanoPatterning do NPVE, o usuário pode adquirir imagens até um bilhão pixéis em tamanho (32k x 32k), permitindo a alta resolução, imagem lactente extremamente grande do campo de visão. As opções Adicionais permitem a aquisição e a costura automatizadas dos Mosaicos da grande área que criam uma montagem de muitas imagens de alta resolução contíguas.

Um 1 µm X 1 quadrado do µm do Feixe de Elétron depositou colunas do óxido de silicone. O ângulo de modelação dentro da forma quadrada foi ajustado a 45°, com o afastamento escolhido ter as colunas apenas contactar.

A: 600 bobina Mentir-depositada diâmetro do nanômetro 3D. B: Reservatório e um µm do nano-canal 20 por muito tempo e 200 nanômetro na largura. Visualização do Tempo real quando mmoer permitir uma transição lisa, de fundo chato do canal ao reservatório.

Uma rendição do grayscale MENTIR do Memorial de Lincoln, modelada no silicone. Uma fotografia unmodified foi usada como a origem de dados. O tempo de modelação total era aproximadamente dez minutos.

Características e Aplicações de NPVE

Construtor da Disposição

Criar disposições de estruturas repetitivas é directa usando o Construtor da Disposição de NPVE. Os estilos Diferentes da disposição podem ser construídos incluindo disposições do regular e do radial. O Construtor da Disposição provou ser indispensável para a optimização de processo do gás enquanto uma vasta gama de parâmetros pode sistematicamente ser variada em uma base da forma-por-forma para o projecto rápido das experiências.

Uns 4 pela disposição 4 de retângulos usados para o feixe de elétron ajudaram ao depósito. O afastamento do ponto da interrupção foi variado pela fileira e pela coluna.

Uma parcela de uma disposição das formas anulares, cada 450 nanômetro no diâmetro, com um 1 afastamento do µm (passo) entre formas.

Ideia Isométrica de uma raspagem de 25 linhas do nanômetro espaçadas por 100 nanômetro, modelados directamente usando um feixe de íon do pA 10.

Receitas da Operação

Determinar parâmetros de modelação óptimos conseguir os resultados muito melhores pode exigir o esforço significativo da parte de um usuário do principiante.

Para facilitar este processo, os navios de NPVE com um número de Receitas da Operação que encapsula os parâmetros de modelação óptimos através de uma escala de correntes do feixe, porque muitas tarefas da terra comum tais como a precisão que mmói ou química gás-baseadas.

Disposições da Nano-Coluna

Placa de Zona

estruturas do canal da Nano-Escala

Metade-Toros mmoídos no diamante

Os Usuários escolhem simplesmente uma receita apropriada, que aplique automaticamente estes parâmetros a qualquer forma com “um clique”. Os Usuários podem igualmente alterar ou gerar suas próprias receitas usando o Editor da Receita da Operação.

Características Adicionais

Além do que as características mostradas, o NPVE tem capacidades adicionais numerosas. Contacte Por Favor seu representante de vendas para discutir sua aplicação particular, e como o NPVE pode ajudar em fazer a sua aplicação um sucesso.

Características de NPVE

Formas Básicas

O NPVE tem nove formas básicas que podem ser usadas ou combinado para criar umas formas mais complexas. Cada forma é compor de nós completo-editáveis e de familiar dos segmentos de um modo a qualquer um que usou o software dos gráficos.

O NPVE igualmente vem com um importador da lima que possa ler e converter 2D desenhos em diversos formatos do padrão do sector.

Lista Básica da Forma:

  • Retângulo
  • Elipse
  • Anel
  • Linha
  • Polyline
  • Polígono
  • Trapézio
  • Texto
  • Ponto

Parâmetros de Modelação

Escolher os parâmetros de modelação óptimos afecta extremamente o resultado de uma experiência. Por este motivo a relação de NPVE oferece um alto nível da flexibilidade em aperfeiçoar como o feixe é movido através da amostra. Virtualmente todos os parâmetros em relação ao posicionamento do feixe podem ser ajustados - ou o usuário pode escolher uma Receita previamente definida da Operação que então ajuste automaticamente os Parâmetros de Modelação para as formas escolhidas.

Formas Vagas

Usando formas do “Vácuo”, o NPVE oferece um método conveniente impedir que as regiões críticas da amostra estejam modeladas pelo feixe. Alguma forma enchida pode ser transformada em um Vácuo. Por sua vez, toda a forma que contactar um Vácuo terá então a região que contem tudo ou uma parcela do Vácuo excluído da modelação.

Modelação Paralela

Modelar formas múltiplas paralelamente, um pouco do que em série terminando uma forma e movendo-se no seguinte tem vantagens distintas, particularmente ao usar química do gás ou ao mmoer estruturas altas do prolongamento. O NPVE apoia a modelação paralela ou de série de todas as formas ou subconjuntos selecionados das formas.

Formas Feitas A Varredura Vector

Tradicional, as formas são enchidas com o a quadriculação-como o algoritmo da varredura. O NPVE apoia este estilo tradicional (que permite certamente que um sentido de varredura arbitrário seja especificado), mas igualmente apoia a exploração do vector do esboço da forma. A exploração do Esboço pode ser usada para encher completamente uma forma, ou para seguir de um modo o perímetro da forma que segue lisamente o esboço da forma. As varreduras do Esboço podem ser ajustadas para o Centro, Inserir ou o Alinhamento do Princípio, com uma espessura especificada, ou ao ponto de encher a forma. Como em outra parte, o NPVE permite o controlo total de parâmetros de modelação tais como o afastamento do ponto da interrupção ao longo de cada “trajecto” e entre “trajectos”, como os cantos são mitrados, Etc.

Simulação do ponto da Interrupção na sobreposição de 50%, de uma forma do esboço com simetria da dez-dobra

Ajuste Operações

Criar formas complexas é facilitada usando as Operações Ajustadas de NPVE. As formas Individuais podem ser combinadas com as Operações Ajustadas para criar a União, a Diferença, a Intersecção, o XOR ou a versão Grampeada das formas. Cada forma derivada permanece inteiramente editável, com os nós novos que estão sendo determinados pela Operação Ajustada particular empregada. Usando Operações Ajustadas, as formas de sobreposição e o erro de dose dobro errôneo resultante podem ser eliminados.

Estilos de Modelação

A estratégia particular da varredura empregada tem um impacto significativo nos resultados conseguidos. Os Estilos de Modelação de NPVE permitem que o usuário especifique uma escala de estratégias da varredura.

Suficiência Deslocada

O tamanho de Ponto, o redeposition do material, o depósito do gás ou as taxas gravura em àgua forte, Etc. todos contribuem a fazer a forma final ligeira maior ou menor do que a forma como-desenhada. Cada forma tem um parâmetro do Offset que, calibrado uma vez para uma Operação particular, permita que o NPVE automaticamente contrate ou expanda a forma pela quantidade exigida para encontrar as tolerâncias dimensionais exactas.

Modelação Viva da Vista

O Visualização do processo de modelação da perspectiva do feixe de modelação, vendo não meramente com SEM ao mmoer com MENTIR, provou ser crítico ao sucesso em muitas aplicações FIB NanoPatterning.

Modelação Viva da Vista da estaca de um nano-fio na parte inferior de um furo profundo.

As imagens da opinião zoom” do tempo real dos indicadores do “de NPVE das formas como são modelados, permitindo o alinhamento, a correcção de deriva e a observação precisos do processo de modelação.

MENTIR o Texto

Para o seguimento conveniente dos dados, todas as experiências podem ser in situ prontamente marcado usando a opção do Texto MENTIR. Todas As fontes do ™ de MS Windows estão disponíveis e o texto pode ser modelado da mesma forma como toda a outra forma, incluindo aplicando Receitas da Operação para permitir química do gás.

MENTIR o Texto que anota circunstâncias experimentais

Folha De Prova da Imagem

Em determinadas aplicações o posicionamento preciso das formas pode ser feito muito mais simples pela cobertura de uma imagem previamente adquirida, ou por uma imagem de uma outra fonte tal como um microscópio óptico. O NPVE apoia a folha de prova da imagem, o alinhamento e o ajuste da transparência.

Source: “ZEISS NPVE Nanopatterning & Motor do Visualização” por Carl Zeiss

Para obter mais informações sobre desta fonte, visite por favor Carl Zeiss.

Date Added: Apr 29, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 01:48

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