3D Ytbehandlar att Modellera (3DSM) - Överblicken, och Applikationer av 3D Ytbehandlar att Modellera av Carl Zeiss

Täckte Ämnen

Är Vad 3DSM?
Fördelar av 3DSM
Applikationer av 3DSM
3DSM i Vetenskaperna om olika organismers beskaffenhet
3DSM i Elektronik
3DSM i Forensics
3DSM i Bransch
Lansering Av Programvaran 3DSM
Ha Kontakt som är Utseendemässig av 3DSM
3DSM och Levande Funktionsläge
att Mäta Profilerar och Områden med 3DSM
Begränsningar av 3DSM
Exaktheten av 3DSM
Ytbehandla RoughnessUtvärderingar i 3DSM
Analysera Skottlossning Klämma Fast Imprints genom Att Använda 3DSM
Summariskt

Är Vad 3DSM?

Scanningelektronmikroskop är stora bearbetar för 2D kontroll, och metrology av en bred variation av tar prov. Emellertid är deras kapaciteter 3D stilla mycket inskränkt, när speciellt det kommer till kvantitativt ytbehandlar karakterisering. Detta är det huvudsakliga problemet som tacklas av 3DSM.

3DSM är enbaserad applikation som är kapabel av att ge topografisk information för, tar prov undersökt med Carl Zeiss NTS elektronmikroskop som utrustas med en AsB® eller en avkännare 4QBSD. Applikationen kan utföra en 3D ytbehandlar rekonstruktion som baseras på individen som, AsB®/4QBSD segmenterar signalerar och visualiserar den resulterande 3Den modellerar i flera olik väg. 3DSM kan fungera samman med SmartSEM® i det levande funktionsläget, för realtidsavbilda 3D. Den kan också fungera i det fristående funktionsläget för arkiverat att visualisera projekterar sparar.

Fördelar av 3DSM

3DSM tar fördel av möjligheten av att använda en singel pekar av beskådar, avläst genom att använda fyra som avkännaren segmenterar signalerar. Denna metod som kallas mång--avkännaren metoden, använder principen av ”formar från att skugga”. Genom Att Använda fyra mata in avbildar, graderingen av grå färg-jämnar på topografisk anmärker är basen för beräkna lokal ytbehandlar geometri. Detta ytbehandlar blytaket till ett fortlöpande modellerar och resulterande mätningskapaciteter.

Algoritmen bakomliggande 3DSM har flera fördelar över klassisk 3D att ytbehandla rekonstruktionmetoder som baseras på 2 Viewpoint:

  • realtidsfunktion (Levande funktionsläge)
  • Fasta rekonstruktiontid (< 1="" second="">Full automation
  • Ingen nödvändig extra maskinvara (arrangera e.g),
  • Kickupplösningskapacitet
  • Förenlighet med någon typ av dioden för 4 kvadrant eller systemet för 4 avkännare
  • Arbeten för slätar ytbehandlar att sakna som är distinguishable, specificerar

Applikationer av 3DSM

3DSM har en vast räckvidd av applikationer. Nästan allt som undersöks så långt i en SEM 2000, når nu en third dimensionerar, sätter in när du skapar ändlösa möjligheter in lik biologi, eller att bearbeta med maskin som är kvalitets-, kontrollerar. Den huvudsakliga applikationen sätter in är listat nedanfört:

  • Vetenskaperna om olika organismers beskaffenhet
  • Elektronik
  • Forensics
  • Bransch

3DSM i Vetenskaperna om olika organismers beskaffenhet

Applikationerna av 3DSM i vetenskaperna om olika organismers beskaffenhet inkluderar:

  • Cell- & silkespapperbiologi
  • Partikeln ytbehandlar och volymanalys

3DSM i Elektronik

Applikationerna av 3DSM i elektronik inkluderar:

  • Hoppa av & felanalys
  • Återkopplingsmetrology för lithography och FIBsystem
  • Nano-Imprint analys & erkännande

3DSM i Forensics

Applikationerna av 3DSM i forensics inkluderar:

  • Kul- & skjutvapenanalys
  • Bevisa characterisationen på nano-fjäll

3DSM i Bransch

Applikationerna av 3DSM i bransch inkluderar:

  • Roughnessmätningar
  • Ha på sig analys

Lansering Av Programvaran 3DSM

När den lanseras för den första tiden, projekterar 3DSM, ska som skärm Hemmet avskärmer, med en lista av exemplet files.ality kontrollerar, i att bearbeta med maskin

Hem- 3DSM avskärmer.

Enklicka på det nytt projekterar listar sparar ska öppet projektera. Screenshotsna använder efter Pyramiden tar prov projekterar för att förklara de grundläggande särdragen av ha kontakt.

Beskåda av 3DSM, når du har laddat en projektera.

Vid standard skärmar 3DSM som de huvudsakliga 3Dna Beskådar av anmärka, tillsammans med fyrana mata in avbildar (botten), och grundläggande rekonstruktionparametrar som grupperas i flikar (rätt). Använd musen för att navigera runt om applikationen, och att undersöka resultera avbildar. Den ska musen låter att rotera och att zoom, och att panorera av ytbehandla kopplar ihop, och 2D avbildar. En sammanhangmeny är alltid tillgänglig med enklicka, visning de mest allmänningalternativen.

Ha Kontakt som är Utseendemässig av 3DSM

Det utseendemässigt av 3DSMen har kontakt planläggs genom att använda en mycket böjlig ansluta-fönster teknologi. Detta särdrag låter användaren till tankeskapelsen faktiskt någon applikationorientering. Varje fönster kan anslutas inom några av de andra dokumentfönstren eller till några av de fyra sidopanelerna. De mest gemensam använda orienteringarna är tillgängliga på en singelmus klickar från toolbaren, som visat på avbildar nedanfört.

Standart beskåda.

3D beskådar orienteringen.

Metrologyorientering.

Input avbildar orienteringen.

Fördefinerade applikationorienteringar som är tillgängliga från toolbaren.

3Dna ytbehandlar kan undersökas i flera väg och att spänna från falsk-färgar LUTs och texturerar överdrar, för ytbehandla-att gå och fluga-runt om funktionslägen. Några allmänningexempel av 3D ytbehandlar utredning visas nedanfört.

Texture överdrar beskådar.

Anaglyphen beskådar.

Contour överdrar.

Surface går funktionsläge.

Exempel av ytbehandlar visualization som är tillgänglig i 3DSM.

3DSM och Levande Funktionsläge

Det Levande funktionsläget är ett specialt funktionsläge, som 3DSM förbinder i direkt med SmartSEM®, det primärt kontrollerar programvara för NTS-SEM 2000mikroskop. ska 3DSM får inramar från alla fyra avkännarekvadranterna direkt och utför enfluga för rekonstruktion 3D, en inramauppsättning avslutas varje gång.

Den är klok att fungera 3DSM, och SmartSEM® i parallellen som använder två, övervakar, eller ett widescreen övervakar. Detta är, därför att båda applikationer bör vara synliga strax för att se till att maximat lindrar - av - bruk. En optimal ordning är att använda en övervakar för SmartSEM® och understödja en för 3DSM.

Två övervakar rekommenderas för att fungera 3DSM i levande funktionsläge.

Avbilda genom att använda backscattered elektroner, Innan du kopplar till det levande funktionsläget, SEM 2000 bör justeras för att visa ett giltigt. Detta kräver bruket av arbetet distanserar i spänna av en mm 3… 15 och EHTs se till backscattered elektronupptäckt (beror på typ för avkännarediod). Växling till det levande funktionsläget göras av en singelmouseclick. ska 3DSM justerar de resterande parametrarna automatiskt och uppdaterar 3Den ytbehandlar rekonstruktion efter varje frameset. Luta Enkelt tillbaka och tyck om showen!

att Mäta Profilerar och Områden genom Att Använda 3DSM

En Gång ytbehandlar har en ta prov rekonstruerats, en variation av mätningar kan utföras. De enklast bildar är singel-dimensionerar metrology (profilera mätningen). Den är starkt klok att koppla till metrologyorienteringen, genom att använda toolbaren knäppas, eller menyalternativ. Markera starten och avsluta pekar av profilera och ska omgående showen för Graf fönstret tvärsnittet tillsammans med mätt statistik, Därefter.

Metrologyorienteringen som används för att mäta profilera av en tråd.

3DSM låter kapaciteten av område, och volymmätningar som baseras på som väljs godtyckligt, ytbehandlar polygonen. Polygonen kan väljas på 2D Beskådar, eller 3D Beskådar, genom växelverkande att definiera dess hjässor.

Definierande och utvärderande område och volym.

På avslutning beräknar 3DSM som automatiskt ska, 2D områdes- och för volym 3D statistik.

Begränsningar av 3DSM

Ytbehandlarekonstruktionmetoden bakomliggande 3DSM är mång--avkännaren metoden, att använda ”formar från att skugga” princip. bruk 3DSM som graderingen av grå färg-jämnar på fyrana, matar in avbildar, for härleda lokal ytbehandla geometri. Detta ytbehandlar blytaket till ett kvantitativt modellerar under villkorar efter:

  • Mata in avbildar är fri från artefacts liksom uppladdning, eller att gräva verkställer
  • Mata in avbildar visar inte att skugga verkställer
  • Ta prov är ett fortlöpande ytbehandlar, utan överlappning, anmärker

Från kraven som över listas, verkställer skugga, kan orsaka problem på något klassificerar av tar prov och att visa bestämt stup eller lodlinjesärdrag. Detta kan hjälpmedlet, det som avkännaren segmenterar, inte avskärmas från flödet av elektroner av lokal ytbehandlar topografi.

Att undvika det skugga felet, distanserar det stora arbetet kan väljas och att resultera i ett större backscattered elektrongodtagande metar. Emellertid strukturerar något med att dominera lodlinjesärdrag kan inte vara görligt att rekonstruera i ett kvantitativt sätt.

Exaktheten av 3DSM

3DSM låter SEM 2000prov ytbehandlar rekonstruktion med en kickupplösning och exakthet, men endast på villkora att mata in signalerar innehåller ett ostört signalerar fullgöra backscattered elektronfördelning. Parametrarna för systemet kan specificeras som följer:

  • Beräknas Maximat lodlinjerekonstruktionfel för att vara nedanför 10%. Detta applicerar endast för avbildar signalerar without artefacts liksom att skugga som laddar, kantar verkställer, Etc.
  • Metar Maximat rekonstruktion är anhörigen på arbete distanserar och dioddiameter. För arbete distansera en mm 6, och en mm för dioddiameter 10 som maximat metar, är runt om 60°. Om slutta överskrider denna begränsar, då att skugga för avkännare uppstår och, maximat 10% lodlinjefel kan inte garanteras.
  • Sidoupplösning och det maximala sidorekonstruktionfelet begränsas endast av SEM 2000upplösning, och lateralen avbildar fel.
  • Rekonstruktiontid beräknas att vara nedanför 1000ms för förvärv storleksanpassar 1024x768 med ytbehandlar texturerar.

Mata In avbildar från avkännarekvadranterna är det huvudsakligt villkorar för lyckat kvantitativt ytbehandlar rekonstruktion. Mest artefacts (liksom uppladdning) är lätta att kompensera för till och med riktigt tar prov förberedelsen, och att använda det optimala SEM 2000arbetet villkorar. Det enda oundvikligt avbildar fel är att skugga som uppstår för brant prov, sluttar. I sådan fall ytbehandla rekonstruktion, och visualization är den stilla möjligheten, men 10% maximat feltvång kan inte garanteras. För klassificerar av tar prov att innehålla stup, 3DSM kan inte vara ansett, som mäta bearbetar.

Ytbehandla RoughnessUtvärderingar i 3DSM

att Mäta roughness med nanometerprecision har aldrig varit lättare i SEM 2000. Statistiska data om det för närvarande utvalt profilerar tillsammans med roughnessutvärdering är tillgängliga i Metrologyrekvisitafliken. Denna information uppdateras automatiskt i det levande funktionsläget, efter varje har inramat, och när användaren ändrar växelverkande det utvalt, profilerar.

Ytbehandla roughnessutvärderingen är ett inbyggt särdrag i 3DSM.

Analysera Skottlossning Klämma Fast Imprints genom Att Använda 3DSM

En av många applikationer av 3DSM analyserar skottlossning klämmer fast imprints som lämnas på kulor. Målet är att matcha den karakteristiska teckningen på kulor, för att avsluta huruvida avfyrades de av det samma vapnet eller för att para ett vapen med en kula. Till nu har denna typ av forskning utförts i första hand i 2D. Mikroskop för Carl Zeiss NTS scanningelektron samman med 3DSM tillfogar ett helt nytt dimensionerar till detta område. Säkerheten som är jämn av kulanalys, är markant ökande tack till möjligheten av att jämföra imprintsna i ett volymetriskt sätt, ganska, än endast 2D skisserar.

En imprint av skottlossningen klämmer fast lämnat på en kula.

3DSM låter kapaciteten av metrology på imprinten båda i 2D och i 3D som markant är ökande säkerheten som är jämn av domen.

Summariskt

3DSM tillfogar ett helt nytt jämnt till avläsande elektronmicroscopy, genom att låta, tar prov för att undersökas i tre dimensionerar nästan i real-time. Det finns inte något mer ytterligare behov för invecklat arrangerar vippning av tillvägagångssätt. Finna Enkelt en anmärka av intresserar, kopplar för att Bo funktionsläge och tycka om showen!

Källa: ”3DSM - 3D Ytbehandlar att Modellera” vid Carl Zeiss

Behaga besök Carl Zeiss För mer information på denna källa.

Date Added: Nov 17, 2010 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 04:48

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit