Sistema Ótico Nivelado da Bolacha - Introdução e Soluções Disponíveis para o Sistema Ótico do Nível da Bolacha pelo Grupo de EV

Assuntos Cobertos

Vista Geral
Câmeras Niveladas da Bolacha (WLCs)
Fabricação Mestra do Selo
Molde UV de Microlens
Ligação UV Alinhada

Vista Geral

Em dispositivos electrónicos modernos tais como câmaras digitais, telefones móveis, consoles portáteis do jogo, portáteis ou netbooks, os sistemas micro-ópticos são relações decisivas entre o mundo real e a microeletrônica do sensor da imagem dentro de um módulo da câmera. Presentemente, o conceito geral de um conjunto do módulo da câmera submete-se a uma transição do conjunto discreto à integração do bolacha-nível usando tecnologias de semicondutor bem conhecidas. as câmeras do Bolacha-Nível têm começado já substituir os módulos convencionais devido aos factores de formulários menores e a umas relações mais baratas do desempenho.

Câmeras Niveladas da Bolacha (WLCs)

As câmeras niveladas da Bolacha (WLCs) são os dispositivos em que todas as peças individuais são fabricadas a nível da bolacha e ligadas então para fazer uma única parte que consiste em um sensor da imagem do CMOS (CIS) e em uma pilha dos micro-sistemas óticos que aumentam a eficiência clara da captação da câmera.

A litografia UV da impressão, desenvolvida originalmente para a réplica rentável das estruturas na escala do nanômetro, é considerada agora uma ferramenta poderosa para a fabricação do sistema ótico do bolacha-nível em processos em massa altamente paralelos da fabricação.

O Grupo de EV oferece a fabricantes uma escala completa das soluções, incluindo a fabricação do selo, a réplica e a integração mestras de elementos ópticos a nível da bolacha baseado em seus sistemas bem conhecidos do alinhamento de máscara e da litografia do nanoimprint. Sua carteira do produto é altamente versátil, permitindo clientes de executar processos altamente personalizados do hardware e do software. Acoplado com revelação e optimização de processo em facilidades da sala de limpeza do Grupo de EV, o Grupo de EV fornece uma solução total da configuração de sistema e a fabricação à integração do processo e ao "knowhow" do material.

Os Elementos de um módulo típico da câmera do bolacha-nível incluem um sensor da imagem do CMOS, umas lentes poliméricos moldadas nos portadores de vidro pela litografia UV da impressão, uns espaçadores e umas camadas da abertura, segundo as indicações desta vista explodida.
Source: EVG.

Fabricação Mestra do Selo

Os selos do Mestre são moldes do bolacha-tamanho povoados inteiramente com moldes cada um dos microlens replicated de um molde da única lente em uma etapa-e-repetição (aproximação de S&R). Começando de um mestre da única lente feito fora do metal ou do vidro, o Grupo de EV oferece um fluxo de processo que cubra todas as etapas essenciais do processo para a fabricação dos selos mestres que caracterizam precisões ímpares da posição da lente de <100nm e as repetibilidades altas da forma da lente exigidas para a fabricação da bolacha da parte alta nivelem os módulos da câmera.

Etapas Individuais do processo de S&R caracterizadas pelo Grupo de EV:

  • Posicionamento da Elevada precisão do molde da única lente através da bolacha
  • A Gota dispensa do material mestre do selo
  • Firme a força compensada ou a elevada precisão controlada a distância imprime primeiramente
  • Exposição UV
  • Demolding

Veja Por Favor nosso Gen II NILStepper do produto relacionado EVG®770 para a informações detalhadas.

Molde UV de Microlens

A Litografia UV Macia da Impressão é uma técnica altamente paralela para a fabricação dos microlenses poliméricos, os elementos chaves de sistemas ópticos do nível da bolacha. Começando dos selos de trabalho macios replicated dos selos do mestre do bolacha-tamanho, o Grupo de EV oferece microlens híbridos e monolíticos que molda os processos que podem facilmente ser adaptados às várias combinações materiais para trabalhar materiais do selo e dos microlens. Além, o Grupo de EV oferece microlens qualificados que molda o processo que inclui todo o "knowhow" material relevante.

A Litografia UV Macia da Impressão Setup para o único e molde lateral dobro da lente.
Source: EVG.

Etapas UV Individuais do processo do Molde caracterizadas pelo Grupo de EV:

  • A Poça dispensa do pré-polímero óptico
  • Firme a força compensada ou a impressão alinhada controlada a distância
  • Exposição UV
  • Demolding

Veja Por Favor nosso Q.I. Aligner® do produto relacionado para a informações detalhadas.

Escolha a bolacha da lente do lado 300mm fabricada pela Litografia UV Macia da Impressão.
Source: EVG.

Ligação UV Alinhada

A micro pilha final do sistema ótico é fabricada pela ligação UV de todos os elementos, incluindo as bolachas laterais dobro individuais dos microlens assim como as bolachas do espaçador exigidas para conseguir a altura de pilha final. Os parâmetros Cruciais são a precisão do alinhamento do lente-à-espaçador, variação total da espessura da relação e da produção bond resultantes da bolacha.

Os micro sistemas óticos ligados UV empilham consistir em bolachas da lente e em bolachas do espaçador.
Source: EVG.

Etapas Individuais do processo caracterizadas pelo Grupo de EV:

  • Ligação UV alinhada compensada Cunha
  • Exposição UV

Bolachas Individuais da lente e do espaçador de uma micro pilha do sistema ótico antes da ligação UV.
Source EVG, Cortesia de Aptina.

Veja Por Favor nosso Q.I. Aligner® e nosso Gemini® do produto relacionado para a informações detalhadas.

Source: Grupo de EV

Para obter mais informações sobre desta fonte visite por favor o Grupo de EV

Date Added: Jan 17, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 07:14

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