좁은 선폭의 향상된 도량형학

AZoNano의

목차

소개
AcuityXR의 특징
사례 1: 좁은 선폭의 향상된 도량형학
사례 2: 특징 별거 기능
사례 3: 일반적인 특징 명확성
AcuityXR 최빈값의 제한
결론
Bruker에 관하여

소개

Bruker의 AcuityXR 광학적인 지상 윤곽을 그리는 시스템은 중요하게 측정의 넓은 종류를 위한 옆 해결책을 강화할 수 있다 그런 방법으로 디자인되었습니다. AcuityXR는 빛의 단계가 검토되는 어떤 매끄러운 표면든지에 작동하고 백색 빛 간섭 측정 신호에서 표면을 산출하기 위하여 사용됩니다.

AcuityXR의 특징

AcuityXR의 주요 특징은:

  • AcuityXR는 표준 간섭 측정 측정에 가능한 것 보다 X와 Y 방향에 있는 화소의 수를 가진 측정을 두번 일으킵니다.
  • 훌륭한 세부사항은 추가 분리된 선과 같은 측정에 있는 정밀한 특징을 위해 및 더 예리한 찰상 또는 결점 달성됩니다. 시계의 가장자리 또는 필요로 한 가공에서 없는 지상 데이터의 가까운 지역의 가까이에 해결책을 향상하기 위하여 경미한 둥글게 되는 것이 일지도 모르지만, 이것은 해결책을 강화하기 위하여 이용된 수학 산법의 일반적인 결과 입니다.

세부사항의 밑에 보기는 몇몇 AcuityXR 측정이 탐지 기능 또는 중요한 지상 특징의 정량화에서 중요한 이득을 제공하는 케이스를 이용합니다.

사례 1: 좁은 선폭의 향상된 도량형학

향상한 옆 해결책의 1개의 명백한 응용은 좁은 선폭 특징의 우량한 측정을 달성하기 위한 것입니다. 이것을, 350nm로 분리해 2개의 350nm 선을 달라고 하는 견본은 표준 단계 이동 간섭 측정과 AcuityXR PSI 측정 3을 사용하여 Bruker ContourGT X8 광학적인 프로 파일러 시스템 (PSI)에 시험하기 위하여는 최빈값 측정되었습니다. 숫자 1은 각 기술에서 1개 측정을 보여줍니다.

관측은 아래와 같이 열거됩니다:

  • 선 사이 지상 고도는 기질의 나머지와 동일하 PSI 심상을 위해 그(것)들이 충분한 그 같은이라고 희미해지더라도 반면 AcuityXR 측정을 이용해서, 선 사이 가득 차있는 별거를 보여주는 충분한 해결책이 도달된다는 것을 첫째로, 명확하게 관찰될 수 있습니다.
  • 게다가, 선에 따라서 선폭 변이의 정밀한 세부사항은 AcuityXR 결과에서 표준 PSI 결과에서 명백한 보이고. PSI를 사용하여 결정된 평균 선폭은 다만 300 nm이었습니다. AcuityXR 최빈값을 사용하여, 평균 선폭은 320 nm이었습니다. AcuityXR 결과는 아직도 기준에 목록으로 만들어지는 보다는 경미하게 더 작더라도, 폭이 선에 따라서 수직으로 취하는 곳에 정확하게에 근거하여 조정될 수 있습니다.
  • 수 측정 성과 식으로, PSI 측정을 위한 선 폭의 표준 편차는 35.1 nm이었습니다. AcuityXR PSI 결과를 위해, 표준 편차는 다만 5.2 nm로 7의 거의 요인에 의해, 감소됩니다. 유사하게, 선 양의 계산 도중, PSI를 위한 표준 편차 및 AcuityXR PSI 측정은 각각 .005 μm3 및 5 개선의 요인인 0.001 μm3입니다. 그러므로, 도량형학 기능에 있는 중요한 이익은 AcuityXR에 의해 제안된 강화한 옆 해결책을 통해 가능합니다.

(남겨두는) (맞은) 특징 감별법의 상부를 보여주는 적은 특징 별거 및 AcuityXR PSI를 가진 표준 PSI로 취하는 숫자 1. 350nm 선폭 측정.

사례 2: 특징 별거 기능

실제로 AcuityXR와 그것의 한계를 시험하는 것은 정밀한 특징, 연속적으로 더 작은 선의 선폭 기준을, 1μm에서 100nm에 분화하는 능력, 장악되었습니다입니다. Bruker의 독점적인 115X 의 0.8NA 현미경 목적은 선폭 기준에 최대 해결책을 제안하기 위하여 이용되었습니다. 참새 표준을 사용하여 장악되는 것과 같이 광학계의 옆 해결책은 314 nm입니다. 200nm까지 특징은 쉽게 분화될 수 있어 PSI와 AcuityXR PSI 최빈값을 숫자 2.에서 보이는 것처럼 사용하 둘 다. 그러나, 더 정밀한 세부사항 및 우량한 별거는 AcuityXR 최빈값을 사용하여 명확하게 관찰됩니다.

130nm에 AcuityXR 최빈값은 2개의 명백한 특징을 보여주는 수 있었는 그러나, 일반적인 PSI 측정을 사용하여 전부 눈에 보인에 아무 별거도 없었습니다. AcuityXR의 옆 해결책 기능의 이 명백한 한계는 측정을 참새 계산에서 예기된 옆 해결책 보다는 더 작습니다 약 2.5 시간 강화했습니다.

숫자 2. 모든 심상에는 (파란) -8nm에 (빨간) 2nm의 동일 수직 가늠자가 있습니다. (남겨두는) 표준 PSI 측정 및 (맞은) 200, 150, 및 130nm 선폭 특징의 AcuityXR PSI 측정.

사례 3: 일반적인 특징 명확성

확인하게 필수적 표면, 그것을 검토할 것이 계기 연구 결과를 능력을 발휘하거나 다르게 각 개별적인 특징을 양을 정할 반드시 필요가 있을 없이 찰상, 결점, 또는 그밖 정밀한 특징을일 때 정상적으로. 예를 들면, 이것은 정형외과, 의학 임플란트, 플라스틱 기질, 또는 광학에 있는 지상 완료를 검토할 때 무의미한 실험실 필수품일 것입니다. 다양한 표면은 숫자 3.에서 보이는 것처럼 PSI 측정 최빈값과 AcuityXR PSI 최빈값을 사용하여 급속하게 측정되었습니다.

적당한 구조물을 보여주고 있는 동안 (남겨두는) 표준 PSI 및 견본에 심상을 보다 적게 이상한 시키는 기능에 있는 AcuityXR PSI에 있는 AcuityXR PSI (적당한) 쇼 광대한 개선으로 취하는 숫자 3. 심상.

각 케이스에서는, AcuityXR 측정은 심상에서 존재하는 격자판에 더 예리한 특징 및 그밖 작은 결점을 보여줍니다. 이것은 자동적으로 Bruker의 비전 소프트웨어를 가진 폭 또는 고도에 근거를 둔 특징을 찾아내고, 세고, 양을 정하기를 위한 다만 우량한 시각적인 식별, 또한 더 나은 기능을 허용합니다.

AcuityXR 최빈값의 제한

AcuityXR의 제한은 아래와 같이 열거됩니다:

  • 그것은 PSI 또는 HDVSI 측정 최빈값이 표면의 측정을 문제 없이 수행할 수 있는 현지 소밀 보다 적게 보다는 대략 20nm가 있는 표면으로 제한됩니다.
  • 거친 표면은 종이와 같은 대략 금속을 기계로 가공하거나, AcuityXR를 위해 적합하지 않습니다 거품이 입니다.
  • 더구나, 다량의 없는 데이터가 있는 표면은 유효한 데이터의 가장자리의 가까이에 관련시키기 수학이 적당한 계산을 위해 인접하는 표면을 요구하기 때문에 AcuityXR를 사용할 때 약간에게 둥글게 되기 겪을 수 있습니다.

결론

AcuityXR는 Bruker의 광학적인 프로 파일러의 대부분의 모형을 위해 유효한 혁신적인 기술입니다. 그것은 다중 지상 검사의 시스템 만들, 저잡음 측정 및 통합을 채택합니다. 이 통합으로, 광학적인 성분에 기인한 흐림은 감소되 상당히 강화될 수 있고 옆 해결책. 훌륭한 세부사항은 많은 표면에서 보일 수 있습니다. 좁은 특징을 위해, AcuityXR는 또한 변이의 현저하게 강화한 정량화, 작은 구조물에 조차 가능한 만드는 순서 관리를 제안합니다. AcuityXR는 매끄럽고, 정밀한 특징을 위한 모든 표면을 위해 적당한, 동안 광학적인 프로 파일러의 측정 기능을 향상합니다.

Bruker에 관하여

Bruker Nano 표면은 그들의 강력한 디자인 및 사용 용이를 위한 그밖 상업적으로 이용 가능한 시스템에서 우수한 원자 군대 현미경/스캐닝 탐사기 현미경 (AFM/SPM) 제품을 제공합니다, 하는 동안 고해상 유지. 우리의 계기 전부의 일부분인, NANOS 측정 헤드는 표준 연구 현미경 목적 보다는 아니 더 크다 준비 콤팩트를 이렇게 만드는 공가 편향도 측정을 위한 유일한 광파이버 간섭계를 채택합니다.

이 정보는 Bruker 계속 Nano 표면에 의해 제공된 물자에서 sourced, 검토해서 그리고 적응시켜 입니다.

이 근원에 추가 정보를 위해, Bruker Nano 표면을 방문하십시오.

Date Added: Jun 15, 2012 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:17

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