Herramientas Innovadoras de la Investigación para la Nanofabricación: Una Entrevista con Mohan Ananth

La Entrevista cerca Soutter

En este Discernimientos de la entrevista de la Industria, del Dr. Mohan Ananth, del Director de Marketing Mayor y de la Gestión de Productos para la Microscopia de Carl Zeiss, negociaciones Para Querer Soutter sobre su nuevo microscopio de ión de haces múltiples de Orión NanoFab. La plataforma de NanoFab fue puesta en marcha en emc2012 en Manchester, REINO UNIDO.

WS: ¿Pueden usted informarnos un dígito binario sobre la Microscopia de Carl Zeiss y sus productos, y su papel dentro del grupo más grande de Zeiss?

MA: El lema del Grupo de Carl Zeiss es “nosotros lo hace visible” - cualquier cosa hacer con la óptica, estamos implicados hacia adentro. Hacemos todo de los microscopios a los telescopios y a los instrumentos del planetario.

Hay seis asuntos dentro de Zeiss - pertenezco a la Microscopia de Carl Zeiss, que tiene una cartera amplia de los microscopios de la luz, del electrón y de ión. Hay otras compañías que hacen los subconjuntos de estos productos, pero la Microscopia de Carl Zeiss es la única que hace el rango completo de óptico a los microscopios del electrón y de ión.

La Microscopia de Carl Zeiss se sabe para innovar y crear nuevos productos y tecnologías. Nuestro enfoque es el mercado de la investigación; ésa es el área de base para nosotros y los juegos a nuestras fuerzas. A Través de la innovación de producto entregamos realmente los instrumentos y las soluciones del filo a nuestros clientes de la investigación.

Pienso el Orión NanoFab, nuestro último producto, soy un ejemplo clásico de esta fuerza de la base de Zeiss. Estamos apuntando el mercado de la investigación en academia, industria, y el gobierno, y estamos trayendo este producto nuevo y realmente innovador al mercado.

WS: ¿Cómo el Orión NanoFab ajusta en el espectro existente del producto?

MA: La Nanofabricación es relativamente una nueva área, que implica básicamente el crear de las estructuras y de los dispositivos extremadamente pequeños. El campo en el momento está todo sobre creación de un prototipo. Cuando un investigador tiene una idea sobre cómo hacer cierto dispositivo, quieren hacer un prototipo - no necesitan un recurso enorme de la fabricación capaz de hacer centenares o millares de los dispositivos, apenas la capacidad para hacer algunos de ellos, en un ambiente muy especializado. Aquí es adonde vienen estas herramientas de la nanofabricación hacia adentro.

Típicamente, cuando la gente habla con los haces iónicos para la nanofabricación, ella está hablando de los iones del galio. Los haces electrónicos también se utilizan, principal para el tramitación litográfico, mientras que los haces iónicos se utilizan para labrar a máquina directo, chisporroteando, o retiro material, así como deposición y el grabar el ácido.

Tan dentro del espacio del sistema del haz iónico, el más popular y el común es el haz de ión enfocado galio. Esta tecnología por 3 décadas o tan ahora ha estado alrededor. En estos sistemas del ión del galio, usted tiene una antena que sea cerca de 5 nanómetro de tamaño, y usted puede fabricar las estructuras para derribar a 30-40 nanómetro. La Gente ha manejado hacer características más pequeñas, quizá hacia abajo a 10 o a 15 nanómetro, pero ésos son ejemplos sumamente especializados - son la anomalía, no la regla.

Sin Embargo, el empujar hacia adentro el campo de la nanofabricación está naturalmente hacia estructuras más pequeñas y más pequeñas, y hemos estado trabajando en maneras de lograr eso. Hemos utilizado nuestra tecnología propietaria de la fuente de ión del yacimiento de gas, para activar la fabricación de estas estructuras cada vez más pequeñas. Tenemos la capacidad de crear un haz enfocado de los iones del gas inerte hacia abajo a una talla de la antena debajo de 0.5nm. Esto utilizaba originalmente el helio y ahora lo hemos extendido al neón también.

Los iones del helio y del neón son más pálidos que el galio, y se pueden enfocar en una antena mucho más pequeña. Usted puede hacer cosas similares con helio y neón como usted podría con galio, pero en una moda más exacta y más controlada en una escala mucho más tamaño pequeño. Esto activa la fabricación de los nanostructures debajo de 10nm, algo que no era posible previamente usando haces iónicos.

En este vídeo, Mohan da Soutter una introducción abreviada al Orión Nanofab en emc2012, donde el nuevo producto fue lanzado oficialmente.

WS: ¿Qué impacto estas nuevas capacidades tienen en sus clientes de la investigación?

MA: El uso de los iones del helio y del neón agrega totalmente una nueva dimensión a la nanofabricación para la investigación. Por primera vez investigadores puede fabricar fácilmente y rutinario matrices de los agujeros 5nm en diversos materiales como el nitruro y el aluminio de silicio, fabricar las nano-antenas con las separaciones 4nm en oro, y hacer 5nm cintas anchas de graphene. La capacidad de hacer esto está activando el revelado del sensor para las biomoléculas, está ampliando las capacidades en la investigación del photonics, y está activando las fronteras del revelado del transistor de la generación siguiente. Además, los investigadores no quieren típicamente hacer apenas una cosa o la otra. Quieren A Menudo quitar una gran cantidad de material, y después empinadura hacia adentro más lejos y corrigen o crean muy exacto características más pequeñas. Ahora hemos creado una plataforma donde podemos integrar una olumna convencional del galio, junto con un haz del helio y un haz de neón. Usted hace Tan la gama de tallas entera revestir en una única plataforma - del galio para la creación de un prototipo y el retiro rápidos de una gran cantidad de material, al helio y al neón para labrar a máquina realmente exacto, realmente controlado.

El haz del helio se puede también utilizar para la proyección de imagen - le da una talla de mancha menos que la mitad los nanómetros, así que la resolución es mucho mayor que qué usted puede conseguir de SEMs convencional. Si usted considera un FIB/SEM clásico (o SEM/FIB) fijado, tienen una resolución de 1 a 1,5 nanómetro para la proyección de imagen, y alrededor de 3-5nm para labrar a máquina. La plataforma de NanoFab puede darle proyección de imagen debajo de 0.5nm, junto con la gama completa de las capacidades de la fabricación de 10nm sub hasta micrones. Con este instrumento usted ahora tiene la capacidad de hacer creación de un prototipo rápida con el galio combinado con labrar a máquina exacto y controlado usando el helio y el neón.

WS: ¿Cuáles son las aplicaciones principales de la investigación para el Orión NanoFab?

MA: Si debiera categorizar las áreas de aplicación muy ampliamente, sería el corregir y análisis del circuito, litografía del haz iónico, plasmonics (y las áreas relacionadas como photonics y phononics), y los nanopores de estado sólido - éste es una de las aplicaciones más interesantes, usando los haces iónicos para crear estos agujeros muy pequeños, para el uso en la secuencia de la DNA o sensores químicos.

Ésas son las áreas que hemos observado hasta ahora. Pero la potencia real de esta plataforma es lo que puede hacer para las capacidades de los laboratorios de investigación.

consideremos como un ejemplo un centro de investigación grande, con los lotes de los utilizadores que entran y utilizan los instrumentos. Muchos estos lugares están observando que despliegan su capacidad, dicen agregando otro instrumento del galio FIB/SEM. Si piensan en un instrumento como el NanoFab, sin embargo, podrían aumentar su capacidad de la BOLA del galio y también aumentar las capacidades del laboratorio. Esto también ayudaría a distinguir el recurso del resto de laboratorios que están compitiendo contra, porque los investigadores allí tendrían acceso a los recursos que no lo hace mucha otra gente.

WS: ¿Cómo la reacción del cliente al NanoFab ha estado hasta ahora? ¿Cuándo las primeras unidades expidirán?

MA: La reacción ha sido grande. Hemos tomado ya algunas pedidos del cliente delante del lanzamiento de producto, y expidiremos muy pronto - primer debe expidir por el centro de Octubre. Nos excitan realmente sobre este producto y las aplicaciones y las soluciones que puede activar para nuestros clientes.

WS: ¿Cuáles son los pasos de progresión siguientes para la Microscopia de Carl Zeiss? ¿Hay otras tecnologías emocionantes en la tubería?

MA: Hay varios productos innovadores que saldrán en microscopia pálida. Mi enfoque está en la cara del haz de ión, pero sé que habrá un nuevo producto llamado LightSheet, que es igualmente innovador, y eso será anunciada en la Neurología en New Orleans algunas semanas de ahora en adelante.

En la parte de la microscopia del ión, hay varias cosas que enfocaremos conectado en un futuro próximo. Uno de éstos está aumentando la capacidad analítica del instrumento.

Con Bolas del helio y del neón, usted no genera Radiografías, así que usted no puede hacer análisis del EDS mientras que usted con un sistema convencional del doble-haz. Estamos observando Tan maneras diferentes de activar capacidades analíticas en esta plataforma, porque la gente está interesada en hacer proyección de imagen de alta resolución junto con análisis de alta resolución. Si usted ve un pequeño bache en la pantalla, usted quiere conocer cuál es, qué ha compuesto.

Estamos observando maneras diferentes de hacer eso, y hay algunas opciones que estamos desarrollando. Hay mucha investigación emocionante que está entrando conectado en esa área. Hay gente que presenta resultados, incluso en esta conferencia, sobre algunas de las capacidades analíticas que estamos desarrollando en este instrumento. De modo que esté realmente la cosa siguiente estamos enfocando conectado.

WS: ¿Dónde podemos nosotros encontrar más información sobre el Orión NanoFab, y la Microscopia de Carl Zeiss?

MA: Usted puede enviarnos por correo electrónico en microscopy@zeiss.com, o visite el microsite de NanoFab en www.zeiss.com/orion-nanofab.

El carro remolcado oficial del producto para Carl Zeiss Orión NanoFab.

Sobre la Microscopia de Carl Zeiss

La Microscopia de Carl Zeiss es el único fabricante del mundo de microscopios de la luz, del electrón y de ión. La cartera extensa de la compañía activa aplicaciones de la investigación y de la rutina en la vida y las ciencias materiales.

Su gama de productos incluye la luz y los microscopios de exploración del laser, los microscopios del electrón y de ión y los módulos del espectrómetro. Apoyan a los Utilizadores para el software para el mando de sistema, la captura de la imagen y corregir.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jan 9, 2013

Last Update: 9. January 2013 14:20

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