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Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Recibe Orden Adicional de Fabricante Con base en UE de MEMS

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) un innovador de las soluciones especializadas de la producción para la fabricación de MEMS avanzado, potencia ICs y dispositivos optoelectrónicos, anunció hoy que ha recibido una pedido para un módulo adicional del proceso de la herramienta del atado de Tegal 4200 SE™ DRIE de un surtidor Con base en UE de cabeza de los dispositivos de MEMS y de IC de la Potencia.

El módulo del proceso del SE DRIE de Tegal 4200 será expidido e instalado en el sitio de cliente en el cuarto fiscal siguiente, y agregará a la capacidad de producción total del cliente para la fabricación en grandes cantidades de los dispositivos de MEMS y de IC de la Potencia.

La orden del módulo del proceso del silicio DRIE de la herramienta del atado del SE de Tegal 4200 de este cliente de Tegal DRIE de la repetición sigue la instalación acertada, la aptitud de proceso, y el uso continuo de los procesos Reactivos Profundos del Grabado De Pistas del Ión del silicio en la primera herramienta P.M. del atado del SE de Tegal 4200 del cliente.

Conocen a “Nuestro cliente para su liderazgo tecnológico en los mercados de MEMS y de IC de la Potencia, y vemos esta orden como confirmación del rendimiento superior de Tegal de la herramienta del silicio DRIE en la fabricación en grandes cantidades,” dijo a Yannick Pilloux, Director de Producto de la repetición de DRIE en Tegal Corporation. “Creemos que nuestros módulos del proceso de DRIE son el los más seguros y más avanzados en el mercado y, como esta orden de la repetición muestra, han podido cumplir los requisitos técnicos exigentes de nuestro cliente para las herramientas del atado del silicio DRIE, mientras que proporcionan a valor excelente a lo largo del camino.”

El Tegal 4200 SE™ es un sistema avanzado, de calidad mundial de la herramienta del atado dedicado a las aplicaciones Reactivas Profundas del Grabado De Pistas del Ión. Ofreciendo un reactor inductivo acoplado del grabado de pistas del plasma y un arresto magnético del plasma, la herramienta puede ejecutar el SOSTENIDO patentado de Tegal - Alto Proceso Estupendo de la Relación de Aspecto, logrando relaciones de aspecto grabadas el ácido de la característica de >100: 1 en ambientes de producción. La herramienta del atado de Tegal 4200 se puede configurar con hasta 4 módulos de proceso, y 2 módulos del magazín, porque aplicaciones En grandes cantidades de la Fabricación para lo más frecuentemente los materiales usados en MEMS y la fabricación del dispositivo de semiconductor: Silicio (Si), Silicio En Aislador (SOI), y Bióxido de Silicio (SiO2)

Las herramientas del silicio DRIE de Tegal se emplean actualmente en laboratorios numerosos de la investigación y desarrollo en el mundo entero, enganchándose a programas de investigación comerciales y académicos, y también se encuentran en las fundiciones de MEMS y otras líneas En grandes cantidades comerciales dedicadas de la Fabricación mundiales.

Fuente: http://www.tegal.com/

Last Update: 12. January 2012 00:30

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