Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

Tegal Mottar Extra Beställer från EG-Baserad MEMS-Producent

Published on June 9, 2010 at 4:47 AM

Tegal Korporation, (Nasdaq: TGAL) en innovatör av specialiserade produktionlösningar för fabriceringen av avancerad MEMS, driver ICs och optoelectronic apparater som i dag meddelas det, har mottagit en beställa för en extra Tegal som 4200 SE™ DRIE samla i en klunga bearbetar den processaa enheten från en leda EG-baserad leverantör av MEMS och Driver IC-apparater.

Den Tegal 4200 SEN som DRIE bearbetar den ska enheten, sänds, och installerat på kundens plats i det nästa skatte- inkvartera och ska tillfogar till kundens den total- produktionkapaciteten för kickvolym som är fabriks- av MEMS och, Driver IC-apparater.

Den Tegal 4200 SEN samla i en klunga bearbetar den processaa enheten för silikoner DRIE beställer från denna repetitionTegal DRIE kund följer den lyckade installationen, processaa kvalifikation, och tålt bruk av silikoner som den Djupa Reactive Jonen Etsar, bearbetar på kundens första Tegal 4200 SE samla i en klunga bearbetar PM.

”Är Driver Vår kund bekant för deras teknologiska ledarskap i MEMSEN och IC marknadsför, och vi ser denna repetition beställa, som bekräftelsen av hjälpmedlets för Tegal silikoner DRIE överlägsna kapacitet i fabriks- kickvolym,”, sade Yannick Pilloux, DRIE-ProduktChefen på Tegal Korporation. ”Tror Vi att våra processaa enheter för DRIE är det pålitligast och mest avancerad på marknadsföra och, som denna repetition beställer shows, oss har varit kompetent att möta vår kunds begära tekniska krav för silikoner DRIE samla i en klunga bearbetar, att ge för stunder som är utmärkt värderar längs långt.”,

Tegalen 4200 SE™ är ett avancerat, värld-klassificerar samla i en klunga bearbetar systemet som är hängivet till den Djupa Reactive Jonen, Etsar applikationer. Presentera ett inductively kopplat ihop plasma etsa reaktorn, och magnetisk plasmafångenskap, bearbeta kan köra Tegals patenterade KOR - Toppna det Processaa KickAspektFörhållandet och att uppnå etsade särdragaspektförhållanden av >100: 1 i produktionmiljöer. Tegalen 4200 samla i en klunga bearbetar kan konfigureras med upp till 4 processaa enheter, och 2 kassettenheter, for Fabriks- applikationer för KickVolym för de vanligast använda materialen i MEMS och fabricering för halvledareapparat: Silikoner (Si), Silikoner På Isolator (SOI) och SilikonDioxid (SiO2)

Tegal silikon DRIE bearbetar används just nu i laboratoriumalltigenom för talrik forskning och utvecklingsvärlden och att koppla in i både reklamfilm och akademiska forskningprogram och finnas också i MEMS-gjuterier, och annan hängiven Fabriks- reklamfilmKickVolym fodrar värld-sned boll.

Källa: http://www.tegal.com/

Last Update: 26. January 2012 06:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit