Fraunhofer ENAS उन्नत लिथोग्राफी कार्यान्वित करने के लिए + आर डी अल्ट्रा उच्च संकल्प patterning के लिए नई प्रौद्योगिकी एसएमएस शून्य के साथ है EVG उपकरण का उपयोग करना

Published on October 19, 2010 at 7:19 PM

EV) समूह (EVG , वेफर और MEMS, नैनो, और अर्धचालक बाजारों के लिए अश्मलेखन उपकरण संबंधों के एक प्रमुख आपूर्तिकर्ता, आज इलेक्ट्रॉनिक नैनो सिस्टम ENAS (Chemnitz, जर्मनी) के लिए Fraunhofer अनुसंधान संस्थान से पहले के आदेश की प्राप्ति की घोषणा की.

Fraunhofer ENAS एक EVG6200NT स्वचालित मुखौटा aligner और एक EVG540 स्वचालित वफ़र bonder खरीदा है, और मुखौटा लिथोग्राफी, पराबैंगनी nanoimprint अश्मलेखन (यूवी - शून्य), बांड संरेखण, संबंध और गर्म embossing (एचई) के लिए लचीला, बहु प्रक्रिया EVG प्रणालियों काम करेंगे. नवम्बर के शुरू में प्रसव के लिए प्रणाली, जो Fraunhofer ENAS उत्पाद वेफर्स प्रक्रिया के लिए व्यास में 200 मिमी के लिए सक्षम हो जाएगा उम्मीद कर रहे हैं.

Fraunhofer ENAS निकट एक cleanroom सुविधा राज्य के-the-कला Microtechnologies चलने के लिए Chemnitz विश्वविद्यालय के प्रौद्योगिकी केंद्र के साथ सहयोग. संस्थान प्रमुख दुनिया भर में ग्राहकों के साथ मिलकर काम करता है, ध्यान केंद्रित MEMS / NEMS पर औद्योगिक अनुसंधान, वापस अंत की लाइन (BEOL) माइक्रो और नैनो इलेक्ट्रॉनिक्स प्रक्रियाओं, 3 डी आईसी एकीकरण और विश्वसनीयता. डॉ. थॉमस Gessner, और Fraunhofer ENAS, प्रतिष्ठित संस्थान EVG प्रणाली का चयन एक प्राथमिक कारण एक प्रोफेसर और निदेशक के अनुसार उन्नत प्रौद्योगिकी क्षमताओं वे बर्दाश्त है. "शून्य और गर्म embossing हमारे उन्नत अनुसंधान और विकास प्रयासों को विस्तार देने के लिए प्रमुख प्रक्रियाओं हैं," प्रोफेसर Gessner ने कहा. "EVG प्रणालियों हमें इन तक प्रतिस्पर्धी उपकरणों की तुलना में बेहतर प्रौद्योगिकियों को लागू करने के लिए अनुमति देते हैं हम अब पूरे क्षेत्र nanoimprints प्रदर्शन कर सकते हैं, के रूप में के रूप में अच्छी तरह से ऑप्टिकली यूवी शून्य गठबंधन और महामहिम, बड़े वेफर्स पर, आगे हमारे लिए की एक व्यापक स्पेक्ट्रम का समर्थन करने की क्षमता का विस्तार प्रक्रियाओं. "

EVG हाल ही में नरम आणविक पैमाने यूवी शून्य, या एसएमएस शून्य, अति उच्च प्रौद्योगिकी संकल्प पैटर्न EVG है साबित यूवी शून्य सिस्टम पर 12.5 एनएम के लिए नीचे सुविधाओं की घोषणा की है. प्रौद्योगिकी का उपयोग करता है नरम polymeric काम कर टिकटों के लिए हानिकारक महंगा गुरु टिकटों से बचने के अन्य नैनो patterning तकनीक की तुलना में काफी कम प्रसंस्करण लागत में जिसके परिणामस्वरूप. EVG की रिपोर्ट है कि एसएमएस शून्य पहले से ही CMOS छवि सेंसर के लिए औद्योगिक वातावरण, ढलाई माइक्रो लेंस और अन्य ऑप्टिकल अनुप्रयोगों में प्रयोग किया जाता है.

"Fraunhofer ENAS के रूप में एक अग्रणी शोध साथी से इस आदेश को विकसित करने और नए, अग्रणी - बढ़त प्रौद्योगिकियों को लागू है कि तारीफ और हमारे सिस्टम के लिए आवेदन का विस्तार के लिए चल रहे हमारे प्रयासों के मूल्य रेखांकित करता है", EVG कॉर्पोरेट प्रौद्योगिकी विकास और आईपी Markus Wimplinger ने कहा निदेशक ने कहा. "न केवल हमारे 'उपकरण लचीलापन Fraunhofer ENAS सिर्फ दो सिस्टम पर एकाधिक लिथोग्राफी, संरेखण और संबंधों प्रक्रियाओं प्रदर्शन के लिए अनुमति देने के, होगा, लेकिन दोनों कंपनियों, EVG है अद्वितीय प्रौद्योगिकी एसएमएस - शून्य जैसे प्रक्रियाओं, के रूप में के रूप में अच्छी तरह से गर्म embossing प्रक्रियाओं के बीच करीबी सहयोग के माध्यम से, और लागू किया जाएगा और अधिक उन्नत है. "

इसके अलावा MEMS क्षेत्र में अपनी विशेषज्ञता का समर्थन, EVG MEMS बाजार के लिए एक और महत्वपूर्ण आदेश की घोषणा आज - नॉर्वे आधारित MEMS सेंसर निर्माता Sensonor टेक्नोलॉजीज के रूप में थर्मल इमेजिंग के निर्माण के लिए एक EVG मिथुन का आदेश दिया. EVG भी अपने शस्त्रागार के लिए एक और bonder जोड़ी बाहर नया EVG ® 520L3 3 डी आईसी, MEMS, और CMOS संगतता के लिए धातु के संबंध सहित अनुप्रयोगों के लिए अर्द्ध स्वचालित, उच्च वैक्यूम वफ़र संबंधों प्रणाली रोलिंग.

उन है EVG एसएमएस शून्य प्रौद्योगिकी और वफ़र संबंधों और अश्मलेखन उपकरणों के व्यापक पोर्टफोलियो के बारे में अधिक सीखने में रुचि रखते बूथ में 1568 # (1 हॉल) Messe ड्रेस्डन, ड्रेस्डन में SEMICON यूरोपा, 19-21 अक्टूबर, 2010 के दौरान कंपनी की यात्रा करने के लिए आमंत्रित कर रहे हैं , जर्मनी.

Last Update: 9. October 2011 05:00

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