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弗勞恩霍夫 ENAS,實施先進的光刻R + D使用新的SMS無超高分辨率圖案的技術與 EVG的工具

Published on October 19, 2010 at 7:19 PM

EV集團(EVG) ,MEMS,納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的領先供應商,今天宣布收到從電子納米系統ENAS(開姆尼茨,德國),弗勞恩霍夫研究所的一階。

弗勞恩霍夫 ENAS購買 EVG6200NT自動光刻和EVG540自動化晶圓鍵合機,將採用掩模光刻,紫外線壓印光刻技術(UV - NIL),債券對齊,粘接和熱壓印(HE)的靈活的,多​​進程 EVG系統。系統,這將使弗勞恩霍夫 ENAS處理產品晶圓直徑為 200毫米,預計 11月初交付。

弗勞恩霍夫 ENAS密切合作與開姆尼茨技術中心大學微技術運行一個國家的最先進的無塵室設施。研究所密切合作,與世界各地的主要客戶,重點工業研究MEMS / NEMS,行結束(BEOL)微型和納米電子學的過程,三維集成電路的集成度和可靠性。據托馬斯博士蓋斯納,教授,主任弗勞恩霍夫 ENAS,一個著名的機構選擇了EVG系統的首要原因是他們負擔得起的先進技術的能力。教授說:“蓋斯納”零及熱壓延長我們的先進的研發工作的關鍵工序。 “EVG系統允許我們實現這些技術遠遠大於競爭工具,我們現在可以執行全面積 nanoimprints,以及光學對準紫外線無他,更大的晶圓上,進一步擴大我們的能力,以支持一種廣譜流程。“

EVG的最近宣布軟分子尺度UV - NIL,或短信為零,技術模式,超高分辨率功能下降到12.5納米 EVG的證明 UV - NIL系統。該技術採用高分子軟工作郵票,以避免損壞昂貴的主郵票,在顯著降低處理成本比其他納米圖形技術。 EVG,SMS,無已用於工業環境中的CMOS圖像傳感器,微透鏡成型及其他光學應用的報告。

“該筆一個如弗勞恩霍夫 ENAS領先的研究夥伴的銷售訂單強調我們正在進行的努力,制定和實施新的,前沿技術,恭維和擴大我們的系統的應用價值,”說馬庫斯 Wimplinger,EVG的企業技術開發和知識產權董事。我們的工具“靈活性”不僅讓弗勞恩霍夫 ENAS到執行只有兩個系統多個光刻,對齊和粘合過程,但通過兩個公司,如EVG的獨特的短信,無技術的進程,以及熱壓印過程之間的密切合作,將實施和進一步推進。“

進一步支持其在MEMS領域的專業知識,EVG宣布另一個 MEMS市場的關鍵秩序今天挪威基於 MEMS傳感器生產 Sensonor技術下令EVG熱成像製造雙子座。 EVG還增加了另一個焊機其軍火庫,推出新的EVG ® 520L3半自動化,高真空晶圓粘接系統包括3D IC,MEMS和CMO​​S兼容的金屬粘接的應用。

有興趣了解更多有關 EVG的短信無晶圓鍵合和光刻設備的技術和廣泛的產品組合被邀請參觀展位#1568(1號館)公司在SEMICON歐洲,2010年10月19日至21日,在展覽,德累斯頓德累斯頓,德國。

Last Update: 21. October 2011 22:33

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