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Posted in | MEMS - NEMS

Le Groupe d'EV Se Joignent à l'Institut de Recherches Industriel de Technologie pour le Développement De Processus de MEMS

Published on June 2, 2011 at 9:06 AM

Par Cameron Chai

Le Groupe d'EV (EVG) a déclaré qu'il partnering avec l'Institut de Recherches Industriel de Technologie (ITRI) pour fournir des techniques de fabrication avancées pour les dispositifs futuristes de MEMS.

En vertu de la collaboration, ITRI a acheté un EVG6200 système automatisé de cadrage de masque et EVG510 système semi-automatisé de métallisation de disque avec des solutions de rechange en esclavage de cadrage et de cadrage de haut-bas. EVG établira, modifiera et optimisera la technique disque disque de la métallisation de l'ITRI pour adapter à ses usagers et associés. EVG fournit la lithographie et le matériel de métallisation de disque pour la nanotechnologie, le semi-conducteur, et les marchés de MEMS.

Les systèmes neufs d'EVG seront montés au Centre de Technologie Micro de Systèmes d'ITRI. Un certain nombre de bonders de disque d'EVG et de dispositifs d'alignement de masque ont été déjà montés à cet emplacement et sont actuel sous le fonctionnement. Les systèmes d'EVG sont utilisés pour différents procédés disque disque de métallisation tels que la métallisation thermo de compactage en métal, la métallisation eutectique, et la métallisation anodique. ITRI emploie le bonder EVG510 pour traiter des disques de 200 millimètres MEMS.

Selon SON Suppli, une compagnie d'étude de marché, le marché de MEMS se développera rapidement à partir de 2012 à 2014. Les Facteurs clé pour le développement du marché comprennent l'utilisation des dispositifs de MEMS, des accéléromètres, des senseurs de pression et des gyroscopes dans le consommateur et des dispositifs automobiles de communication mobile.

la métallisation alignée Disque Disque offre la protection à la minute et au matériel mécanique fragile et est utilisée pour fabriquer des dispositifs de MEMS. la métallisation alignée Disque Disque produit également d'un module immédiat pour fermer et encapsuler le dispositif de MEMS hermétiquement. La compagnie offre les systèmes de métallisation de disque qui conviennent pour la fabrication à fort débit.

Source : http://www.evgroup.com/en

Last Update: 12. January 2012 16:55

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