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MEMS 응용을 위한 새로운 깊은 실리콘 식각 기술

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

옥스포드 계기는 MEMS 시장에 기업 주요한 가공 성과 및 유연한 해결책 제공 투발하기 위하여 개발된 PlasmaPro Estrelas100, 새로운 깊은 실리콘 식각 기술의 발사를 알립니다.

마음에 있는 연구 및 개발 시장으로, PlasmaPro Estrelas100는 가공 융통성에서 궁극을 제안합니다. Nano와 마이크로 구조물은 동일 약실에 있는 Bosch 그리고 cryo 식각 기술을 달리는 기능에 기계설비로 디자인되었습니다 실현될 수 있습니다. 매끄러운 측벽 프로세스에서 높은 식각 비율 프로세스에, PlasmaPro Estrelas100는 MEMS 응용의 다양성이 약실 기계설비를 바꾸는 필요 없이 달성될 수 있다는 것을 확인하 개발되.

새로운 마이크로 전기 기계 시스템의 발달 그리고 상품화로 (MEMS) 현실, 가속계기 자이로스코프와 같은 전통적인 장치는 되고 있습니다 그리고 마이크는 소비자 전자공학, 전시 및 자동 응용 많은에 있는 증가한 채용을 보는 것을 계속합니다. MEMS는 소형화되는 장치 센서를 위한 필수품이 있는 해결책을 제공할 수 있습니다. 연구 및 개발 단계에서 나오는 장치는 에너지 가을걷이를 포함합니다; 스피커; RFID; pico 영사기; 진동자; 마이크로 연료 전지; 그리고 그 외의 사이에 자동 초점 기술.

"옥스포드 계기 플라스마 기술,"는 표 Vosloo 논평합니다 판매국장, 넓은 프로세스를 가진 옥스포드 계기 플라스마 기술, "MEMS 시장에 있는 존재 및 나오는 응용을 제시하는 기술을 제공하는 것을 계속하고 응용 포트홀리로는, 우리의 기술 오늘 확인된 응용 및 내일의 그들의 많은 것을 가능하게 합니다. MEMS 연구 및 개발에 있는 경험 19 년으로 이상 우리는 시장을 이해하고, 다룹니다 유효한 혁신적인 공구로 그(것)들에게 제공하는 우리의 고객의 필요를."

걸출한 글로벌 고객 지원으로 결합된 낙관한 기계설비 및 순서 관리를 통해 소유권의 저가는, 옥스포드 계기가 그들의 고객에게 우수한 제품 제안을 제안하는 것을 계속한다는 것을 의미합니다.

이 최신 시스템 개발은 산업을 위한 새로운 세대 공구 그리고 시스템의 주요한 공급자이기 위하여 옥스포드 계기의 목표를 강화하고 소규모에 사정을 분석하고 조작하는 우리의 기능에 근거하여 시장을, 연구합니다. 회사는 21세기의 중대한 도전을 제시하기 위하여 연구와 기업을 지원하는 세계적인 제품으로 지능적인 과학을 돌기 위하여 혁신을 이용합니다.

Last Update: 12. January 2012 16:25

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