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Posted in | Nanomaterials

Sistema di FlexAL ALD degli Strumenti di Oxford Scelto dall'Università di Chalmers

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Gli Strumenti di Oxford, uno dei produttori chiave del mondo dei sistemi incissione all'acquaforte e del deposito del plasma, è soddisfatto di annunciare che sia stato scelto dall'Università Tecnologica di Chalmers in Svezia per fornire un sistema di FlexAL ALD per impianto nel loro locale senza polvere avanzato.

I sistemi di FlexAL degli Strumenti di Oxford forniscono un nuovo intervallo della flessibilità e della capacità nell'assistenza tecnica delle strutture e delle unità del nanoscale offrendo i trattamenti remoti del plasma ALD ed il termale ALD all'interno di singolo sistema di ALD.

Il deposito Atomico del livello (ALD) è una tecnologia “nana„ vera, permettendo che le pellicole ultrasottili di alcuni nanometri siano depositate in un modo precisamente controllato. Le due caratteristiche di definizione di ALD - auto-limitando crescita atomica del livello-da-livello e rivestimento altamente conforme - offrono molti vantaggi nell'assistenza tecnica a semiconduttore, in MEMS ed in altre applicazioni di nanotecnologia. Il sistema di FlexAL consegna la flessibilità massima nella scelta dei materiali e dei trattamenti a bassa temperatura dei precursori permessi a da plasma ALD; danno basso mantenuto mediante l'uso di plasma remoto; e trattamenti controllabili e ripetibili via dall'l'interfaccia di software guidata da ricetta.

Dott. Stuoia Hagberg, Specialista della Strumentazione Trattata al Laboratorio di Nanofabbricazione, l'Università Tecnologica di Chalmers in Svezia dice, “Noi ha veduto un'esigenza aumentata di molto sottile, pellicole di alta qualità di spessore preciso nella nostra ricerca in nanotecnologia. Introdurre la capacità Atomica del Deposito del Livello al nostro laboratorio trattato permetterà affinchè noi catturi il nostri terahertz, microonda e ricerca delle componenti di quantum ad un nuovo livello. FlexAL era il sistema di ALD sul servizio che quel meglio ha abbinato la nostra caratteristica tecnica.„

Chris Hodson, ALD Product Manager agli Strumenti di Oxford dice “le offerte dello strumento di TheFlexAL ALD la piattaforma ideale per ricerca e sviluppo in molte aree di nuova applicazione ed ha la flessibilità elaborare i vari materiali e trattare una vasta gamma di substrati. Le Nostre applicazioni trattate eccellenti team ed il supporto di servizio globale assicura che i nostri clienti siano supportati sotto tutti gli aspetti e possano contare sui loro sistemi di Strumenti di Oxford per il uptime e l'affidabilità massimi.„

Last Update: 16. October 2012 07:42

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