옥스포드 계기 플라스마 기술은 Nanofab 800 민첩한 시스템의 발사를 알립니다

옥스포드 계기 플라스마 기술을 위한 프로세스 그리고 시스템에 있는 지도자는 식각, 공술서 및 성장 (OIPT), 지금 막 Nanofab800Agile 시스템을 발사했습니다. nanotubes와 nanowires의 촉매 처리 그리고 지배할 수 있는 성장을, 전달하는지 어느 것이 표준과 고열 PECVD 투발 이외에 이 새로운 도구 높게 유연한 공구의 Nanofab 범위를 및 입증한 프로세스는 넓힙니다.

Nanofab800Agile 시스템은 nanostructures의 성장을 좌우하는 발달 기회를 제공합니다. 800oC까지 온도, 및 급속한 선회를 위해 민첩한 난방 및 냉각으로 시스템은 또한 줄맞춤의 통제와 nanostructures의 차원을 전달합니다.

추가 이득은 최대 200mm 웨이퍼, 우수한 온도 균등성 및 민첩한 온도 조종까지 변하기 쉬운 견본 크기를 포함합니다. 시스템은 진공 짐 자물쇠에 가공 반복성과 약실 청결을 지키기 위하여 구성됩니다.

필름 긴장의 맞추어진 성장 그리고 통제를 위한 고객을 개발한 준비를 가진 선택적인 액체 근원 전달계를, 특색지어서, Nanofab800Agile에는 고압과 높은 교류 정권에서 가공하는 기능이 있습니다.

회사 우리가 끊임없이 우리의 고객에게 제안하는 제품을 향상하는 것을 노력하는 때 Ian McKinlay는, OIPT를 위한 고위 생산 매니저 논평합니다, ". 우리의 범위에 이 최신 추가는 우리의 고객이 급속한 난방과 같은 향상된 특징으로부터 및 냉각 주기 우수한 온도 균등성 및 순서 관리 혜택을 받을 것이라는 점을 의미합니다. 이것은 전진하는 우수한 소비자 봉사 및 지원에 우리의 투입과 결합된 OIPT의 광대한 가공 도서관 및 응용 전문 기술에 의해 보완됩니다."

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit