Oxford-Instrumente Kündigt Verbessert an, Fähigkeit auf Plasma-Ätzungs-und Absetzungs-Hilfsmitteln Ende-Zeigend

Oxford-Instrument-Plasma-Technologie (OIPT) freut sich anzukündigen verbessert, Fähigkeit auf seiner Reichweite der Plasmaätzungs- und -absetzungshilfsmittel, mit der Einleitung der Anlage des Spektrometers Ende-zeigend CCD1. Das CCD1 ist zur Erfassung der Lieferung einer endpointing Fähigkeit des Prozesses und UV-/VISspektrums fähig, und ist als Standardoption auf allen neuen Hilfsmitteln oder als Verbesserungsoption für existierende Oxford-Instrumentabnehmer erhältlich.

Dieses Spektrometer stellt einen kosteneffektiven Weg zum universellen Endpointing und zur Spektroskopie zur Verfügung, ohne zu kompromittieren auf Auflösungs- oder Signalstärke.

Das CCD1 ist ein UV/VIS CCD-Spektrometer, das eine große Auswahl von Plasmaemissionen über Wellenlängen 200nm-880nm überwachen kann. Dieses Gerät kann in einer von zwei Möglichkeiten verwendet werden: Prozessendpunktbefund über PC2000™-Software OIPTS oder volle Spektrumbetrachtung und -aufnahme. Dieses versieht den Benutzer mit ausführlichen Plasmaspektroskopieinformationen, die für das Überwachen der Konzentrationen der Spezies innerhalb des Plasmas verwendet werden kann. Die Spektren können mit vorhergehenden Spektraldaten - für Anlagenüberwachung, Fehlererkennung und Potenzialdefektklassifikation auch verglichen werden.

Jetzt erhältlich, wie eine Anlagenoption möglicherweise auf neuen OIPT-Ätzungs- und -absetzungshilfsmitteln, das Spektrometer CCD1 auch als Verbesserung Anlagen auf dem Gebiet angeboten wird, das vom Anlagenalter, -baumuster und -konfiguration abhängig ist.

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