L' interferometro AIMS rappresenta da oltre 20 anni leader sviluppo bordo con conseguente facile da usare, prodotti robusti, che sono stati appositamente ottimizzati per ogni applicazione di misura.  Strumento di precisione Precisioni tipiche ottenibili da questi strumenti in essere sono: · Lunghezza: + 1 nm oltre 25 mm o 1.000 millimetri · Vibrazione: + 1 nm oltre 25 mm · Angolo: + 0,01 secondi d'arco di oltre 40 minuti d'arco · Gas di rifrazione: 2 x 10-8 oltre gamma illimitata · Liquido rifrazione: 1 x 10-6 sul campo illimitato Strumento Configurazioni Tutte le configurazioni sono strumento costruito intorno al ™ Interferometer AIMS (Adaptive sistema di metrologia Interferometric). Questo utilizza un elio-neon sorgente laser e un Jamin-tipo di blocco divisore di fascio su cui sono attaccati i moduli appropriati per ogni scenario di misurazione particolare. Vantaggi del Interferometer AIMS Il design del Interferometer AIMS ™ presenta i seguenti vantaggi distintivi: · Massima flessibilità · Capacità nanometrica · Design modulare · Auto allineamento · Ultra-stabile · Facilità d'uso · Applicabile ad ambienti ostili · Processore controllato · Riferimento modulata retroriflettore Massima flessibilità L'innovativa configurazione brevettata ottici possono essere utilizzati come strumento installati in modo permanente o inserito in cliente-specificato hardware. Capacità nanometrica Il design ottico del AIMS ™ interferometro divisore di fascio elimina automaticamente i riflessi indesiderati dal sistema ottico. Solo l'inevitabile "auto allineate" randagi in concomitanza con l'uso di cubo angolo retro-riflettori rimangono nel sistema e il "worst case" effetti di questi è significativamente inferiore al livello subnanometric differenza di percorso. Ideale per i non-contatto, misurazione non distruttiva di spostamento per dispositivi MEMS. Design modulare I moduli di costo diverse efficace può essere utilizzata senza compromessi di prestazioni. Auto Allineamento Le travi di riferimento e di misurazione vengono automaticamente allineati in una direzione comune con catadiottro sistemi di essere nella stessa "braccio" di ciascun interferometro. Il risultato in entrambi i "comuni-path" e "zero morti-path" caratteristiche di misura per lo strumento. Ultra-stabile Ogni interferometro è progettato intorno ad una configurazione innovativa comune percorso ottico, che garantisce il sistema è insensibile alle modifiche meccaniche indesiderate e l'aria cambia indice di rifrazione. Facilità d'uso L'uso del cubo angolo retro-riflettori richiede solo due schieramenti relativamente di base per l'interferometro di funzionare, essendo questi la sovrapposizione di riferimento e travi di misura per formare interferogrammi e per questi interferogrammi a cadere su fotorivelatori. Contrasto ottimale si realizza quando i due fasci sono completamente sovrapposti. Applicabile agli ambienti ostili Esaminando il riferimento e lo spostamento retro-riflettori attraverso una finestra ottica di qualità adeguata, l'interferometro può essere utilizzato in ambienti estremamente ostili, lo strumento di realizzazione di alta precisione "comune-path" di misura, mentre completamente isolato dall'ambiente. Il campo di misura dello strumento è controllata dalla lunghezza di coerenza della sorgente di radiazione scelto e il "Campo di compensato" dalla divergenza del raggio laser. Processore controllato Un'usanza unità prevista l'elaborazione elettronica garantisce che ogni interferometro opera con prestazioni ottimali. L'unità di elaborazione permette anche di dati dal interferometro di essere esternamente visualizzati o memorizzati in un PC. Riferimento modulata Retro-Reflector L'unità di modulatore, insieme con la sua unità regolatore elettronico è impiegato per elettro-meccanica la scansione del cammino ottico dell'interferometro. Questo facilita sia l'allineamento ottico del sistema e la calibrazione della tecnica matematica impiegata nel software per ottimizzare i segnali elettronici. Il controllo previsto dalla centralina assicura che il interferometro AIMS sistema realizza sia la sensibilità di misura e precisione nanometrica. ' Caratteristiche L'esclusivo retroriflettore unità incorpora controlli di allineamento ottico e la testa interferometro contiene un micro-lavorazione bordo per opto-elettrici di elaborazione del segnale e l'ottimizzazione automatica elettronica. Lo strumento è insensibile alle variazioni meccaniche e riduce al minimo la necessità di morti-path compensazione degli errori.  Dettagli tecnici | Gamma di misurazione (mm) | Fino a 1000mm | 25 millimetri | Gamma di offset (m) | Fino a 1 m | Fino a 1 m | Sistema di risoluzione (nm) | Giù per 1nm | Giù per 1nm | Nominale Lunghezza d'onda laser (nm) | 632,8 | 632,8 | Laser Frequenza di stabilità | 2x10 -8 | 2x10 -8 | Operativo Temperatura Gamma (° C) | 15-30 | 15-30 | Indice di rifrazione atmosferica Correzione Variation | | | - Standard | 1x10 -6 | 1x10 -6 | - Cell Gas Incorporated | 5x10 -8 | 5x10 -8 | Retroriflettore Ottimizzazione automatica elettronica | | | Retroriflettore Vota Traduzione (mm / s) | 300 | 300 | Riferimento catadiottro (mm) | 38 | 38 | Spostamento catadiottro (mm) | 15 | 15 | Inferometer testa (mm) | 98x96x56 | 98x96x56 | - Pre-Amplifier Board (Sin / Cos uscite analogiche) | | | - Micro-Processor Board (Opto-elaborazione del segnale elettrico) | | | Interfaccia: Seriale | RS232 | RS232 | Alimentazione-Line Tensione (V) | 100-240 | 100-240 | Alimentazione-Line Frequenza (Hz) | 47-60 | 47-60 |
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