| 目標 
器械の正確さ これらの顕著な器械から獲得可能な典型的な正確さは次のとおりです: · 長さ: + 25 の mm または 1,000 の mm 上の 1 nm · 振動: + 25 の mm 上の 1 nm · 角度: + 40 のアーク分にわたる 0.01 アークの秒 · ガスの屈折度: 2 x 無制限の範囲に 10-8 · 液体の屈折度: 1 x 無制限の範囲に 10-6 器械構成 すべての器械構成は AIMS™の干渉計 (適応性がある干渉法による度量衡学システム) のまわりで構築されます。 これは各々の特定の測定のシナリオのための接続された適切なモジュールはであるかどれにヘリウムネオンのレーザーソースおよび Jamin タイプのビームスプリッターのブロックを利用します。 目標の干渉計の利点 AIMS™の干渉計のデザインに次の特有な利点があります: · 最大自在性 · Nanometric の機能 · モジューラ設計 · 自動アラインメント · 超安定した · 使い易さ · 敵の環境に適当 · 制御されるプロセッサ · 調整された参照のレトロ反射鏡 最大自在性 革新的な、特許を取られた光学構成は永久にインストール済み器械として使用されるか、または顧客指定されたハードウェアに組み込まれるかもしれません。 Nanometric の機能 AIMS™の干渉計のビームスプリッターの光学デザインは光学系から自動的に不必要な反射を除去します。 不可避だけは 「システムに立方体コーナーのレトロ反射鏡の使用と付随自己によって一直線に並べられる」空電残り、これらの 「最悪の場合」の効果は subnanometric 行路差のレベルの下にかなりあります。 理想的には非連絡に適されて、 MEMS 装置のための非破壊的な変位の測定。 モジューラ設計 異なった費用有効モジュールはパフォーマンスの暗号漏洩なしで利用されるかもしれません。 自動アラインメント 参照および測定のビームは各干渉計の同じ 「アームに」あるレトロ反射鏡システムと共通の方向で自動的に一直線に並びます。 これは器械のための 「両方共通経路」および 「ゼロのデッド経路」の測定の特性で起因します。 超安定した 各干渉計は保障する革新的な共通経路光学構成のまわりでシステムは不必要な機械変更に無感覚であり、空気 R.i. は変更することを設計されています。 使い易さ 立方体コーナーのレトロ反射鏡の使用は光検出機構に落ちるこれらの interferograms 作用することができるように干渉計がのために、形式の interferograms へ参照および測定のビームのスーパーインポーズであるこれらそして 2 つの比較的基本的なアラインメントだけ要求します。 最適対照は 2 つのビームが完全に重ねられるとき実現されます。 敵の環境に適当 適した品質の光学 Windows を通した参照そして移動レトロ反射鏡の検査によって、干渉計は非常に敵の環境、高精度の 「共通経路」の測定を実現する器械で環境から全く隔離されて間作動させることができます。 器械の測定の範囲は選択される放射ソースのコヒーレンス長によって制御され、 「レーザ光線の発散によって範囲」を相殺して下さい。 制御されるプロセッサ カスタムデザインの電子演算処理装置は各干渉計が最適パフォーマンスと動作することを保障します。 演算処理装置はまた干渉計からのデータが外部にパソコンで表示されるか、または保存されるようにします。 調整された参照のレトロ反射鏡 電子ドライバー単位とともに変調器の単位は、電気機械によって干渉計の光学経路をスキャンするために用いられます。 これはシステムの光学アラインメントおよび電気信号を最適化するためにソフトウェアで用いられる数学技術の口径測定を両方促進します。 単位によって提供される制御は目標の干渉計システムが nanometric 測定の感度および精密を両方」。実現することを保障します 機能 一義的なレトロ反射鏡の単位は光学アラインメント制御を組み込み、干渉計ヘッドは opto 電気信号処理および自動電子最適化のためのマイクロプロセシングボードを含んでいます。 器械は機械変更に無感覚で、デッド経路のエラー補償のための必要性を最小化します。 
技術的詳細 | | | 測定範囲 (mm) |
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| | オフセットの範囲 (m) |
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| | システム解像度 (nm) |
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| | わずかなレーザーの波長 (nm) |
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| | レーザーの頻度安定性 | -8 | -8 | | 作動 (°C) |
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| | 大気 R.i. Variation Correction | | | | - 標準 | -6 | -6 | | - 組み込まれるガスセル | -8 | -8 | | レトロ反射鏡の自動電子最適化 | | | | レトロ反射鏡の変換のレート (mm/s) |
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| | 参照のレトロ反射鏡 (mm) |
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| | 移動レトロ反射鏡 (mm) |
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| | Inferometer ヘッド (mm) |
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| | - 前置増幅器のボード (罪/Cos のアナログ出力) | | | | - マイクロプロセッサボード (Opto 電気信号処理) | | | | インターフェイス: シリアル |
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| | 供給ラインの電圧 (v) |
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| | 供給ラインの頻度 (Hz) |
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