Innovative Forschungs-Hilfsmittel für Nanofabrikation: Ein Interview mit Mohan Ananth

Interview Wird Vorbei Soutter

Diesbezüglich Einblicke vom Industrieinterview, von Dr. Mohan Ananth, vom Älteren Marketingleiter und vom Produkt-Management für Carl Zeiss-Mikroskopie, Gespräche, zum von Soutter über ihr neues Mehrstrahlionenmikroskop Orions NanoFab Gewillt Zu Sein. Die NanoFab-Plattform wurde an emc2012 in Manchester, GROSSBRITANNIEN gestartet.

WS: Können Sie uns ein Bit über Carl Zeiss-Mikroskopie und Ihre Produkte mitteilen und Ihre Rolle innerhalb der größeren Zeiss-Gruppe?

MA: Das Carl Zeiss-Gruppenmotto ist „wir machen es sichtbar“ - alles, mit Optik zu tun, werden wir herein miteinbezogen. Wir machen alles von Mikroskope zu Teleskope und Planetariumsinstrumente.

Es gibt sechs Geschäfte innerhalb Zeiss - Ich gehöre Carl Zeiss-Mikroskopie, die einen breiten Effektenbestand von Leuchten-, Elektron- und Ionenmikroskopen hat. Es gibt andere Firmen, die Teilmengen von diesen Produkten machen, aber Carl Zeiss-Mikroskopie ist das einzige, das die komplette Reichweite von optischem zu den Elektron- und Ionenmikroskopen macht.

Carl Zeiss-Mikroskopie bekannt für die Erneuerung und das Erstellen von neuen Produkten und von Technologien. Unser Fokus ist der Forschungsmarkt; der ist der Kernbereich für uns und Spiele zu unseren Stärken. Durch Produktgestaltung entbinden wir wirklich innovative Instrumente und Lösungen an unsere Forschungsabnehmer.

Ich denke den Orion NanoFab, unser spätestes Produkt, bin ein klassisches Beispiel dieser Kernstärke von Zeiss. Wir visieren den Forschungsmarkt in der akademischen Welt, Industrie und Regierung an, und wir holen dieses neue und wirklich innovative Produkt zum Markt.

WS: Wie passt der Orion NanoFab in die vorhandene Produktpalette?

MA: Nanofabrikation ist ein verhältnismäßig neuer Bereich, der im Allgemeinen miteinbezieht, extrem kleine Zellen und Einheiten zu erstellen. Der Bereich ist im Augenblick ganz über Erstausführung. Wenn ein Forscher eine Idee hat über, wie man eine bestimmte Einheit herstellt, möchten sie einen Prototyp machen - sie benötigen keinen enormen Fälschungsteildienst, der zum Lassen von Hunderten oder von Tausenden von Einheiten, gerade die Fähigkeit einige von ihnen, in einer sehr fachkundigen Umgebung machen fähig ist. Das ist, wohin diese Nanofabrikationshilfsmittel hereinkommen.

Gewöhnlich wenn Leute mit Ionenbündeln für Nanofabrikation sich befassen, befassen sich sie mit Galliumionen. Elektronenstrahlen werden auch, hauptsächlich für das lithographische Aufbereiten, während Ionenbündel für die direkte maschinelle Bearbeitung verwendet werden und spritzen, oder materieller Ausbau sowie Absetzung und Ätzung verwendet.

So innerhalb des Ionenbündelanlagenplatzes, ist das populärste und das geläufige der Gallium fokussierte Ionenträger. Diese Technologie ist herum für 3 Jahrzehnte oder so jetzt gewesen. In diesen Galliumionenanlagen haben Sie einen Fühler, der ungefähr 5 nm an Größe ist, und Sie können Zellen fabrizieren, bis 30-40 nm niederzuwerfen. Leute haben erreicht, kleinere Merkmale, möglicherweise unten bis 10 oder 15 nm zu machen, aber die sind hoch spezialisierte Beispiele - sie sind die Ausnahme, nicht die Regel.

Jedoch ist das Eindrückung den Bereich der Nanofabrikation natürlich in Richtung zu den kleineren und kleineren Zellen, und wir haben an Methoden, das zu erzielen gearbeitet. Wir haben unsere eigene Erdgasfeldionenquelltechnologie eingesetzt, um die Fälschung dieser in zunehmendem Maße kleinen Zellen zu aktivieren. Wir haben die Fähigkeit, einen fokussierten Träger von Edelgasionen zu einer Fühlergröße unter 0.5nm unten zu erstellen. Dieses verwendete ursprünglich Helium und wir haben es jetzt auf Neon auch ausgedehnt.

Die Helium- und Neonionen sind heller als Gallium und können in einen viel kleineren Fühler fokussiert werden. Sie können ähnliche Sachen mit Helium und Neon, da Sie mit Gallium konnten, aber auf eine genauere und esteuertere Form an einer viel kleineren Schuppe tun. Dieses aktiviert Fälschung von nanostructures unter 10nm, etwas, das nicht vorher unter Verwendung der Ionenbündel möglich war.

In diesem Video gibt Mohan Wird Soutter eine kurze Einführung zum Orion Nanofab an emc2012, in dem das neue Produkt offiziell gestartet wurde.

WS: Welche Auswirkung haben diese neuen Fähigkeiten auf Ihren Forschungsabnehmern?

MA: Der Gebrauch der Helium- und Neonionen fügt eine völlig neue Abmessung Nanofabrikation für Forschung hinzu. Zum ersten Mal Forscher kann Reihen Löcher 5nm in den verschiedenen Materialien wie Silikonnitrid und -aluminium leicht und routinemäßig fabrizieren, Nano-antennen mit Abständen 4nm im Gold fabrizieren, und 5nm breite Bänder vom graphene machen. Die Fähigkeit, dies zu tun aktiviert Fühlerentwicklung für Biomoleküle, dehnt die Fähigkeiten in photonics Forschung aus und drückt die Grenzen der Transistorentwicklung der nächsten Generation. Zusätzlich möchten Forscher gewöhnlich nicht gerade eine Sache oder die andere tun. Häufig möchten sie große Mengen Material löschen und summen dann herein weiter und sehr genau bearbeiten laut oder erstellen kleinere Merkmale. Wir haben jetzt eine Plattform, in der wir eine herkömmliche Galliumspalte integrieren können, zusammen mit einem Heliumträger und einem Neonträger erstellt. So lassen Sie die gesamte Größenreichweite umfassen in einer einzelnen Plattform - vom Gallium für schnelle Erstausführung und Ausbau von großen Mengen Material, zum Helium und zum Neon für die wirklich genaue, wirklich gesteuerte maschinelle Bearbeitung.

Der Heliumträger kann für Darstellung auch verwendet werden - er gibt Ihnen eine Spotgröße von kleiner als die Hälfte nm, also ist die Auflösung viel größer als, was Sie von herkömmlichem SEMs erhalten können. Wenn Sie ein klassisches FIB/SEM (oder SEM/FIB) als montiert betrachten, haben sie eine Auflösung von 1 bis 1,5 nm für Darstellung und um 3-5nm für die maschinelle Bearbeitung. Die NanoFab-Plattform kann Ihnen Darstellung unter 0.5nm, zusammen mit der vollständigen Auswahl von Fälschungsfähigkeiten von Vor-10nm bis zu den Mikrons geben. Mit diesem Instrument haben Sie jetzt die Fähigkeit, schnelle Erstausführung mit dem Gallium zu tun, das mit der genauen und esteuerten maschinellen Bearbeitung unter Verwendung des Heliums und des Neons kombiniert wird.

WS: Was sind die Hauptforschungsanwendungen für den Orion NanoFab?

MA: Wenn Ich die Verwendungsgebiete sehr breit kategorisieren sollte, würde es Schaltungsbearbeiten und -analyse, Ionenbündellithographie, plasmonics (und in Verbindung stehende Bereiche wie photonics und phononics) und Festkörper-nanopores sein - dieses ist eine der interessantesten Anwendungen, unter Verwendung der Ionenbündel, zum dieser sehr kleinen Löcher, für Gebrauch in den DNA-Sequenzierungs- oder Chemikalienfühlern zu erstellen.

Die sind die Bereiche, die wir bis jetzt betrachtet haben. Aber die Macht dieser Plattform ist, was sie für die Fähigkeiten von Forschungslabors tun kann.

lassen Sie uns einen großen Forschungsteildienst, mit vielen Benutzern als Beispiel betrachten, die hereinkommen und die Instrumente verwenden. Viele diese Plätze betrachten, erweiternd ihre Kapazität, sagen, indem sie ein anderes Instrument des Galliums FIB/SEM hinzufügen. Wenn sie an ein Instrument wie das NanoFab jedoch denken würden sie in der Lage sein, ihre Gallium FLUNKEREI-Kapazität zu erhöhen und die Fähigkeiten des Labors auch zu erhöhen. Dieses würde auch helfen, den Teildienst von allen anderen Labors zu unterscheiden, die sie gegen konkurrieren, weil Forscher dort Zugriff zu den Teildiensten haben würden, die viele anderen Leute nicht tun.

WS: Wie ist die Abnehmerantwort zum NanoFab bis jetzt gewesen? Wann werden die ersten Einheiten versenden?

MA: Die Antwort ist groß gewesen. Wir haben bereits einige Abnehmerordnungen vor der Produkteinführung genommen, und wir werden sehr bald versenden - das erste man sollte durch die Mitte von Oktober versenden. Wir werden wirklich über dieses Produkt und die Anwendungen und die Lösungen erregt, die es für unsere Abnehmer aktivieren kann.

WS: Was sind die nächsten Schritte für Carl Zeiss-Mikroskopie? Gibt es irgendwelche anderen aufregenden Technologien in Vorbereitung?

MA: Es gibt einige innovative Produkte, die in Lichtmikroskopie herauskommen werden. Mein Fokus ist auf der Ionenträgerseite, aber Ich weiß, dass es ein neues Produkt gibt, das LightSheet genannt wird, der gleichmäßig innovativ ist, und der wird an der Neurologie in New Orleans einige Wochen ab jetzt angekündigt.

Auf der Ionenmikroskopievorderseite gibt es einige Sachen, die wir ein in naher Zukunft fokussieren werden. Eins von diesen erhöht die analytische Fähigkeit des Instrumentes.

Mit Helium und Neon Flunkereien erzeugen Sie nicht Röntgenstrahlen, also können Sie EDS-Analyse nicht tun, während Sie mit einer herkömmlichen Doppel-träger Anlage wurden. So betrachten wir unterschiedliche Arten, analytische Fähigkeiten auf dieser Plattform zu aktivieren, weil Leute interessiert sind, an, Darstellung der hohen Auflösung zu tun zusammen mit Analyse der hohen Auflösung. Aus Wenn Sie eine kleine Dokumentenmarke auf dem Bildschirm sehen, möchten Sie kennen, was es ist, was es verfasst hat.

Wir betrachten unterschiedliche Arten des Handelns das, und es gibt einige Optionen, die wir entwickeln. Es gibt viel aufregende Forschung, die ein in diesen Bereich geht. Es gibt die Leute, die Ergebnisse, sogar bei dieser Konferenz, auf einigen der analytischen Fähigkeiten darstellen, die wir auf diesem Instrument entwickeln. Damit wirklich die folgende Sache ist, fokussieren wir ein.

WS: Wo können wir mehr Informationen über den Orion NanoFab finden und Carl Zeiss-Mikroskopie?

MA: Sie können uns bei microscopy@zeiss.com emailen, oder besuchen Sie das NanoFab-microsite bei www.zeiss.com/orion-nanofab.

Der offizielle Produktschlussteil für Carl Zeiss Orion NanoFab.

Über Carl Zeiss-Mikroskopie

Carl Zeiss-Mikroskopie ist der einzige Hersteller der Welt von Leuchten-, Elektron- und Ionenmikroskopen. Der umfangreiche Effektenbestand der Firma aktiviert Forschungs- und Programmanwendungen in der Lebensdauer und in den Materialwissenschaften.

Ihre Produktpalette umfaßt Leuchte und Laserscanningmikroskope, Elektron- und Ionenmikroskope und Spektrometerblöcke. Benutzer werden für Software zur Systemsteuerung, zur Bilderfassung und zum Bearbeiten unterstützt.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jun 25, 2014

Last Update: 25. June 2014 23:59

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