ITRI Wählt Innovative Kopierende Steppernano-200 von SUSS MicroTec - Neues Produkt aus

SUSS MicroTec hat angekündigt, dass ITRI, eine führende Forschungsorganisation, die in Hsinchu, Taiwan gelegen ist, das neue SUSS NPS 200 beschlossen hat, um die Kalten und Heißen Prägungsanwendungen auf Waferniveau erfolgreich zu handhaben. Der Bereich von ITRI-Nanotechnologie umfaßt Aspekte in der Elektronik, im Datenspeicher, im Verpacken, in der Energie, in der Bildschirmanzeige, im photonics, in der Biotechnologie, in der Plattformtechnologie, in der Anwendung in den traditionellen Industrien, und in den aufgebauten Teildiensten.

Gewählt für seine in hohem Grade flexible Konfiguration, ist das NPS 200 entweder da eine manuell belastete Maschine oder als völlig automatisierte Anlage mit Waferladenfähigkeit erhältlich. Optimiert für kosteneffektive Produktion von Einheiten von Mikro- oder nmschuppenmerkmalen, erzielt das SUSS NPS 200 eine Nachdruckengenauigkeit besser als 1 um. Wenn es mit der automatischen Ausrichtungsoption ausgerüstet wird, ist das NPS 200 zur Ausführung der Submikronausrichtung der Substratfläche oder des Wafers in Bezug auf den Stempel fähig.

„Dieser Einbau stellt einen bemerkenswerten Meilenstein mit diesem strategischen Abnehmer dar und ein beträchtlicher Sieg für SUSS, resultierend nach kräftigen Kopf-an-Kopf- wettbewerbsfähigen Vergleichen“, kommentiert Franz Richter, Präsident und Vorstandsvorsitzende von SUSS MicoTec. „Zuverlässige und effiziente Waferklebetechnik der Kosten ist kritisch, die steigende Nachfrage nach Nanotechnologie, 3D- Verpacken und MEMS zu unterstützen. Da ein führender Gerätehersteller für Impressum und Prägungstechniken SUSS fortfährt, hochmoderne aktivierende Maschinerie für diese Anwendungen zu entbinden.“

„Das NPS 200 bietet verschiedene Prägungstechniken“, erklärt Gilbert Lecarpentier, der strategische Produktmanager an. „Der Schritt u. Stempel, die für die Heiße Prägung Aufprägen, ist eine innovative Methode, die durch Mikroelektronische Mitte VTT in Finnland mit einer FC150 Einheit Bonder gezeigt worden ist. Diese Impressumlithographiemethode besteht, Wärme und Druck zu steuern. Von dieser fruchtbaren Partnerschaft zwischen Mikroelektronischer Mitte SUSS und VTT hat sich dem NPS 200 entwickelt. Dieses neue Hilfsmittel ist ideal, alle Prozessschritte durchzuführen, die für verschiedene Impressumlithographietechnologien benötigt werden. Unter Verwendung des in-situmaterials füllen Sie ab und das UVaushärten, der Schritt u. Heilung, die Methode Aufprägen, können mit dem NPS für Kalte Prägungsanwendungen auch erzielt werden.“

Unter Verwendung der Stempel oder Schablonen eher als optische Lithographie, erstellt das NPS 200 die kleinsten Muster, die für die Einheiten benötigt werden, welche die Optoelektronik und die Biotech-Märkte wie Signalkoppler des photoelektrischen Strichgitters anstreben und Membranchips für Filtration von Bakterien oder Zellen in den biomedizinischen, pharmazeutischen und Lebensmittelindustrien, im Usw.

Außer diesem Nano-kopieren Stepper, bietet SUSS zusätzlich Masken-Ausrichtungstransporte für die Kalte Prägung an, waren eine Technik ein Impressum widerstehen wird ausgehärtet mit UV-Licht und Substratfläche Bonders für die Heiße Prägung unter Verwendung der Temperatur und des Drucks als Aushärten von Parametern.

Am 13. Januar 2004 Bekannt gegebenth

Date Added: Jan 16, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:22

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