ITRI ​​Seleziona innovative Nano Patterning Stepper 200 da SUSS MicroTec - Nuovo Prodotto

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SUSS MicroTec ha annunciato che ITRI, un'organizzazione di ricerca leader situato a Hsinchu, Taiwan, ha scelto il nuovo SUSS NPS 200 a gestire applicazioni in rilievo con successo calda e fredda a livello di wafer. Il campo di applicazione delle nanotecnologie ITRI copre gli aspetti di elettronica, archiviazione dei dati, confezionamento, l'energia, la visualizzazione, la fotonica, le biotecnologie, le tecnologie della piattaforma, applicazioni in settori industriali tradizionali, e le strutture edificate.

Scelto per la sua configurazione altamente flessibili, il NPS 200 è disponibile sia come una macchina caricato manualmente o come un sistema completamente automatico con capacità di carico wafer. Ottimizzato per conveniente la produzione di dispositivi di micro o caratteristiche scala nanometrica, il NPS SUSS 200 raggiunge un post-stampa di precisione migliore di 1 um. Se equipaggiato con l'opzione di allineamento automatico, il NPS 200 è in grado di eseguire l'allineamento submicron del substrato o wafer rispetto al timbro.

"Questa installazione rappresenta una pietra miliare degna di nota con questo cliente strategico e una vittoria significativa per SUSS risultante dopo vigorosa testa a testa confronti competitivi", commenta Franz Richter, presidente e CEO di SUSS MicoTec. "Affidabile e conveniente efficiente tecnologia di incollaggio wafer è fondamentale per sostenere la crescente domanda per le nanotecnologie, 3D-MEMS e imballaggio. In qualità di produttore leader di apparecchiature impronta e goffratura SUSS tecniche saranno continuare a fornire lo stato dell'arte consentendo alle macchine per queste applicazioni."

"Il NPS 200 offre varie tecniche di imprinting", spiega Gilbert Lecarpentier, il product manager strategici. "Step & Timbro Imprinting per goffratura calda è un metodo innovativo che è stato dimostrato da VTT microelettronici Centro in Finlandia con un Bonder FC150 periferiche. Questo metodo di impressione litografica è costituito da calore e il controllo della pressione. Da questa collaborazione fruttuosa tra SUSS e VTT Microelettronica Center ha stato sviluppato il NPS 200. Questo nuovo strumento è ideale per eseguire tutti i passaggi necessari per il processo di diverse tecnologie di impressione litografica. Utilizzando in situ materiale erogano ed UV, la Step & Cure Imprinting metodo può essere ottenuta anche con il NPS per le applicazioni di goffratura a freddo . "

Utilizzando timbri o modelli, piuttosto che litografia ottica, il NPS 200 crea il più piccolo pattern necessari per dispositivi volti al mercato optoelettronica e biotech come accoppiatori reticolo ottico e chip a membrana per filtrazione di batteri o cellule nel biomedicale, farmaceutica e alimentare, ecc .

Oltre a questo Patterning Nano Stepper, SUSS offre inoltre Assetto Maschera per goffratura a freddo, una tecnica erano un'impronta resistere è curata con la luce UV e substrato Donders per goffratura a caldo con temperatura e pressione come parametri di polimerizzazione.

Pubblicato il 13 gennaio 2004

Date Added: Jan 16, 2004

Last Update: 7. October 2011 16:40

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