Nano-Circuiti Misurati dalla Vecchia Tecnica dei Raggi X - Nuova Tecnologia

Il National Institute of Standards and Technology (NIST) sta usando una vecchia tecnica dei Raggi X per misurare le unità del nanometro-disgaggio sui chip di computer.

Stanno avendo successo nel usando lo scattering dei raggi x di piccolo-angolo (SAXS) per misurare la dimensione e la forma della griglia come i reticoli con la riga larghezze di nanometro 180. La Precisione è migliore di 1 nanometro ed immagine derivati dalla tecnica danno le misure di alta precisione della riga larghezze, spazi e funzionalità compreso la rugosità delle pareti e delle barriere delle righe.

1° febbraio 2004 Inviatost

Date Added: Feb 6, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:24

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