老 X-射線技術評定的納諾電路 - 新技術

國家標準技術局 (NIST) 使用一個老 X-射線技術評定在計算機芯片的毫微米縮放比例設備。

他們有成功在使用小角度 X-射線分散 (SAXS) 評定網格範圍和形狀像模式的與 180 毫微米行寬。 精確度比從這個技術和圖像派生的 1 個毫微米產生行寬、空間和功能的高精密度的評定包括牆壁和線路好邊緣的坎坷。

張貼 2004年st 2月 1日

Date Added: Feb 6, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:16

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