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J.A. Woollam M-2000-Series Ellipsometers Spectroscopique

La ligne M-2000 des ellipsometers spectroscopiques est conçue pour satisfaire les diverses exigences de la caractérisation de film mince. Un design optique avancé, un domaine spectral large, et une acquisition de données rapide lui effectuent un outil extrêmement puissant et versatile.

Le M-2000 fournit la vitesse et l'exactitude. Notre technologie brevetée de RCE combine le Compensateur Tournant Ellipsometry avec le dépistage ultra-rapide de CCD pour rassembler des données du spectre entier (centaines de longueurs d'onde) dans une fraction de seconde avec une grande sélection de configurations.

Le M-2000 est le premier ellipsometer vraiment à exceler à tout de la surveillance et du contrôle du processus in-situ au mappage d'uniformité de vaste zone et à la caractérisation de film mince d'usage universel.

Pourquoi un M-2000 ?

  • Technologie Avancée d'Ellipsometer
    Le M-2000 emploie notre technologie brevetée de RCE (ellipsometer tournant de compensateur) pour réaliser de grande précision et la précision.
  • Dépistage Spectral Rapide
    Le design de RCE est compatible avec le dépistage avancé de CCD pour mesurer TOUTES LES longueurs d'onde simultanément.
  • Domaine Spectral Large
    Cet ellipsometer se rassemble plus de 700 longueurs d'onde de l'ultra violet au proche-infrared - simultanément.
  • Intégration de Système Flexible
    Avec le design optique modulaire, le M-2000 peut être fixé directement à votre cavité de processus ou être configuré sur n'importe laquelle de nos bases de table.
  • Exactitude
    Le design Avancé assure des mesures ellipsometry précises pour n'importe quel échantillon.

Last Update: 3. February 2012 16:22

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