Positionneur de Grande vitesse du nanoSXY 400 de Suite de Piezosystem

Les stades neuf conçus du nanoSXY de suite combinent le de grande précision et la grande vitesse du système positionnant piézo-électrique avec un design activant spécial pour le long mouvement de course. Davantage plus la hauteur du stade est 20mm seulement avec un espace central libre de 12.5mm ! Les cotes Extérieures sont seulement 60x60mm.

Particulièrement le design ultra plat du stade et de la manière simple de combiner le stade à un système de x/y de lecture rend le système ouvert pour une grande variété d'applications Basées sur le nanoX activant bidirectionnel de seul piezojena concevoir, cette suite est conçu pour déménager les masses élevées de charge avec une définition de 0.6nm.

Le design de nanoX également garantit l'excellente exactitude d'orientation sans mouvement parasite et améliore le temps de stabilisation d'une façon active.

Les stades peuvent être équipés d'une haute résolution rétroagissent le système pour le contrôle de boucle bloquée.

Caractéristiques techniques

  • 400µmrange de mouvement dans de x/y
  • raideur élevée d'axes des z pour la capacité élevée de charge
  • excellente exactitude d'orientation
  • ouverture libre d'habilitation de 12.5mm
  • temps de stabilisation court

Applications

  • positionner de haute précision
  • recherche de matériaux
  • microscopie
  • équipement de test de semi-conducteur

Last Update: 3. February 2012 16:22

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