Le fasi recentemente progettate del nanoSXY di serie combinano l'alta precisione e l'alta velocità del sistema di posizionamento piezo-elettrico con una progettazione d'attuazione speciale per moto lungo di viaggio. Più Ulteriormente più l'altezza della fase è 20mm soltanto con uno spazio concentrare libero di 12.5mm! Le dimensioni Esterne sono soltanto 60x60mm.
Particolarmente la progettazione ultra piana della fase e del modo semplice combinare la fase ad un sistema di x-y di scansione rende il sistema aperto per un'ampia varietà di applicazioni Basate sul nanoX d'attuazione bidirezionale di piezojena unico per progettare, queste serie è destinata a muovere le alte masse del caricamento con una risoluzione di 0.6nm.
La progettazione del nanoX egualmente garantisce l'accuratezza eccellente di orientamento senza moto parassitario e migliora il tempo di sistemazione in un modo attivo.
Le fasi possono essere fornite di un'alta risoluzione retroagiscono il sistema per controllo di ciclo chiuso.
Funzionalità
- 400µmrange di moto in di x-y
- alta rigidezza delle z-asce per alta capacità del caricamento
- accuratezza eccellente di orientamento
- apertura diaframma libera di spazio di 12.5mm
- breve tempo di sistemazione
Applicazioni
- posizionamento di alta precisione
- ricerca dei materiali
- microscopia
- strumentazione di prova a semiconduttore