Posizionatore di Alta velocità del nanoSXY 400 di Serie di Piezosystem

Le fasi recentemente progettate del nanoSXY di serie combinano l'alta precisione e l'alta velocità del sistema di posizionamento piezo-elettrico con una progettazione d'attuazione speciale per moto lungo di viaggio. Più Ulteriormente più l'altezza della fase è 20mm soltanto con uno spazio concentrare libero di 12.5mm! Le dimensioni Esterne sono soltanto 60x60mm.

Particolarmente la progettazione ultra piana della fase e del modo semplice combinare la fase ad un sistema di x-y di scansione rende il sistema aperto per un'ampia varietà di applicazioni Basate sul nanoX d'attuazione bidirezionale di piezojena unico per progettare, queste serie è destinata a muovere le alte masse del caricamento con una risoluzione di 0.6nm.

La progettazione del nanoX egualmente garantisce l'accuratezza eccellente di orientamento senza moto parassitario e migliora il tempo di sistemazione in un modo attivo.

Le fasi possono essere fornite di un'alta risoluzione retroagiscono il sistema per controllo di ciclo chiuso.

Funzionalità

  • 400µmrange di moto in di x-y
  • alta rigidezza delle z-asce per alta capacità del caricamento
  • accuratezza eccellente di orientamento
  • apertura diaframma libera di spazio di 12.5mm
  • breve tempo di sistemazione

Applicazioni

  • posizionamento di alta precisione
  • ricerca dei materiali
  • microscopia
  • strumentazione di prova a semiconduttore

Last Update: 3. February 2012 16:25

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