Posizionatore di Alta velocità del nanoSXY 400 di Serie di Piezosystem

Posizionatore di Alta velocità del nanoSXY 400 di Serie di Piezosystem

Le fasi recentemente progettate del nanoSXY di serie combinano l'alta precisione e l'alta velocità del sistema di posizionamento piezo-elettrico con una progettazione d'attuazione speciale per moto lungo di viaggio. Più Ulteriormente più l'altezza della fase è 20mm soltanto con uno spazio concentrare libero di 12.5mm! Le dimensioni Esterne sono soltanto 60x60mm.

Particolarmente la progettazione ultra piana della fase e del modo semplice combinare la fase ad un sistema di x-y di scansione rende il sistema aperto per un'ampia varietà di applicazioni Basate sul nanoX d'attuazione bidirezionale di piezojena unico per progettare, queste serie è destinata a muovere le alte masse del caricamento con una risoluzione di 0.6nm.

La progettazione del nanoX egualmente garantisce l'accuratezza eccellente di orientamento senza moto parassitario e migliora il tempo di sistemazione in un modo attivo.

Le fasi possono essere fornite di un'alta risoluzione retroagiscono il sistema per controllo di ciclo chiuso.

Funzionalità

  • 400µmrange di moto in di x-y
  • alta rigidezza delle z-asce per alta capacità del caricamento
  • accuratezza eccellente di orientamento
  • apertura diaframma libera di spazio di 12.5mm
  • breve tempo di sistemazione

Applicazioni

  • posizionamento di alta precisione
  • ricerca dei materiali
  • microscopia
  • strumentazione di prova a semiconduttore

Last Update: 3. February 2012 16:25

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