La Serie Nano-HS es una de alta velocidad, multiaxial, sistema nanopositioning de la precisión con el picometer que coloca la resolución. La máxima versatilidad de Ofrecimiento, el Nano-HS se puede configurar para proporcionar al movimiento XY o de XYZ. Los sensores de posición Internos que utilizan la tecnología propietaria de PicoQ proporcionan a la medición absoluta, repetible de la posición bajo mando de bucle cerrado. La huella compacta, las características ultrabajas del ruido, y una frecuencia resonante de Z-AXIS de 5kHz le hacen el ideal para las aplicaciones de la metrología que requieren suelos del ruido menos de 10 picometers y/o funcionamiento de alta velocidad.
Características
- Velocidad, multiaxial
- Configuraciones XY y de XYZ
- tiempo de reacción de paso de progresión de Z-AXIS hacia abajo a 2ms
- Z-AXIS explora hasta 300 Hertz
- Mando de bucle Cerrado
- Picometer que coloca la resolución
Aplicaciones Típicas
- Velocidad, colocación de alta resolución
- Metrología
- AFM
- SPM