Nano-HS-sarja on nopea, multi-akseli, tarkkuus nanopositioning järjestelmä picometer paikannuksen tarkkuus. Offering Erittäin monipuolinen, Nano-HS voidaan konfiguroida tarjoamaan XY tai XYZ liikettä. Sisäinen Paikannusanturit käyttäen omaa PicoQ teknologia ovat ehdoton, toistettavissa aseman mittaus alle suljettua ohjausta. Pieni tilantarve, ultra-hiljainen ominaisuudet, ja Z-akseli värähtelytaajuus 5kHz tekevät siitä ihanteellisen metrologian sovelluksille, jotka vaativat melu lattiat alle 10 picometers ja / tai nopeaa suorituskykyä.
Ominaisuudet
- Nopea, moniakselisiin
- XY ja XYZ kokoonpanoissa
- Z-akseli askellusvasteaika alas 2ms
- Z-akseli skannaa jopa 300 Hz
- Suljettu ohjaus
- Picometer paikannus tarkkuus
Tyypillisiä käyttökohteita
- Nopea, korkean resoluution paikannus
- Metrologia
- AFM
- SPM