Systèmes Fous de Nanopositioning de Suite de Nano-HS de Laboratoires de Ville

La Suite de Nano-HS est une à grande vitesse, multiaxe, système nanopositioning de précision avec le picometer positionnant la définition. La souplesse maximum de Offre, le Nano-HS peut être configurée pour fournir le mouvement DE X/Y ou de XYZ. Les capteurs de position Internes employant la technologie de propriété industrielle de PicoQ fournissent l'absolu, mesure reproductible de position sous le contrôle de boucle bloquée. L'empreinte de pas compacte, les caractéristiques très réduites de bruit, et une fréquence de résonance d'Axe des z de 5kHz lui effectuent l'idéal pour les applications de métrologie qui exigent des étages de bruit moins de 10 picometers et/ou performance à grande vitesse.

Caractéristiques techniques

  • Grande vitesse, multiaxe
  • Configurations DE X/Y et de XYZ
  • Temps de réponse de phase d'Axe des z vers le bas à 2ms
  • L'Axe des z balaye jusqu'à 300 Hertz
  • Contrôle de boucle Bloquée
  • Picometer positionnant la définition

Applications Particulières

  • Grande vitesse, positionner de haute résolution
  • Métrologie
  • AFM
  • SPM

Last Update: 3. February 2012 16:22

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