Nano-HS Series היא מהירות גבוהה, רב ציר, מערכת דיוק nanopositioning עם רזולוציה מיצוב picometer. מציע גמישות מקסימלית, Nano-HS יכול להיות מוגדר על מנת לספק XY או XYZ תנועה. חיישנים עמדה פנימית ניצול הטכנולוגיה הקניינית PicoQ לספק מדידה אבסולוטית, עמדת הדיר תחת שליטה לולאה סגורה. טביעת רגל קומפקטית, Ultra-Low מאפיינים רעש, תדר ציר Z-התהודה של 5kHz להפוך אותו אידיאלי עבור יישומים הדורשים המטרולוגיה קומות רעש פחות מ 10 picometers ו / או ביצועים במהירות גבוהה.
תכונות
- מהירות גבוהה, רב ציר
- XY ו XYZ תצורות
- ציר Z-צעד זמן התגובה עד 2ms
- ציר Z-סורק עד 300 הרץ
- לולאה סגורה מלאה
- מיצוב Picometer רזולוציה
פניות אופייניות
- מהירות גבוהה, מיצוב ברזולוציה גבוהה
- מטרולוגיה
- AFM
- SPM