Nano HS シリーズは高速、複数の軸線、解像度を置く picometer が付いている精密 nanopositioning システムです。 提供の最大多様性は、 Nano HS X-Y または XYZ の動きを提供するために設定することができます。 PicoQ の専有技術を利用する内部位置センサーは閉じたループ制御の下で絶対、反復可能な位置の測定を提供します。 5kHz のコンパクトな足跡、超低い騒音の特性および Z 軸の共振周波数はそれに騒音の床を 10 台以下の picometers や高速パフォーマンス必要とする度量衡学アプリケーションのための理想をします。
機能
- 高速、複数の軸線
- X-Y および XYZ 構成
- Z 軸のステップ応答の時間 2ms に
- Z 軸は 300 までの Hz をスキャンします
- 閉じたループ制御
- 解像度を置く Picometer
典型的なアプリケーション
- 高速、高リゾリューションの位置
- 度量衡学
- AFM
- SPM