纳诺 HS 串联是高速的，多轴，与确定解决方法的微微米的精确度 nanopositioning 的系统。 可以配置提供的最大通用性，纳诺 HS 提供 X - Y 或 XYZ 行动。 使用所有权 PicoQ 技术的内部位置检测器提供绝对，可重复的位置评定在闭合电路控制下。 紧凑脚印、极端底的噪声特性和 5kHz Z轴谐振频率做它要求噪声楼层少于 10 个微微米和高速性能的计量学应用的理想。
功能
- 高速，多轴
- X - Y 和 XYZ 配置
- Z轴下来阶跃响应时间对 2ms
- Z轴浏览 300 Hz
- 闭合电路控制
- 确定解决方法的微微米
典型的应用