納諾 HS 串聯是高速的，多軸，與確定解決方法的微微米的精確度 nanopositioning 的系統。 可以配置提供的最大通用性，納諾 HS 提供 X - Y 或 XYZ 行動。 使用所有權 PicoQ 技術的內部位置檢測器提供绝對，可重複的位置評定在閉合電路控制下。 緊湊腳印、極端底的噪聲特性和 5kHz Z軸諧振頻率做它要求噪聲樓層少於 10 個微微米和高速性能的計量學應用的理想。
功能
- 高速，多軸
- X - Y 和 XYZ 配置
- Z軸下來階躍響應時間對 2ms
- Z軸瀏覽 300 Hz
- 閉合電路控制
- 確定解決方法的微微米
典型的應用