Neues FE-SEM Kombiniert Hohe Auflösung und Analyse zum ersten Mal

Published on July 1, 2009 at 9:12 AM

Heute kündigt Carl Zeiss eine Reihe Produkteinführungen an, die eine Produktpalette und Anwendungsinnovationen umfassen. Der Anfang dieser Serie wird durch das zukünftige analytische Bereichemissions-Rasterelektronenmikroskop - das MERLIN™ markiert. Dieses Instrument kombiniert die bis jetzt widersprüchlichen Anforderungen der Ultrahochauflösungsdarstellung und der analytischen Fähigkeiten. „Abnehmer haben einen Bedarf an mehr, als gerade Bilder der hohen Auflösung ihrer Proben“, Dr. Dirk Stenkamp, Vorstandsmitglied bei Carl Zeiss SMT erklärt. „Mit eindeutigen analytischen Fähigkeiten versorgen unsere Instrumente maximale Informationen mit maximalem Einblick“.

Ein Hauptaspekt des neuen FE-SEM MERLIN™ von Carl Zeiss ist, zum Beispiel in-situbeispielreinigung, eindeutiger Ladungsausgleich oder Bilddatenerfassung in weniger als einer Minute leicht anwendbar.

MERLIN™ - Analyse und hohe Auflösung in einem

Das MERLIN FE-SEM gleicht den Konflikt zwischen Bildauflösung und analytischer Fähigkeit aus. Der Kern von MERLIN ist die erhöhte Spalte der ZWILLINGE II, die, mit seiner doppelten Kondensatoranlage, eine Bildauflösung von 0,8 nm erzielt. Ein Beispielstrom von bis 300 nanoamperes ist- für analytische Zwecke wie Energie und Wellenlänge dispersive Röntgenstrahlspektroskopie (EDS und WDS), Beugungsanalyse von umgekehrten Elektronen (EBSD) oder die Generation von Cathodoluminescence erhältlich.

Die Anlage unterstützt den Benutzer mit einer großen Auswahl von ausführlichen Lösungen für Aufgaben, die nicht ausreichend in der Vergangenheit durchgeführt werden konnten. Der Grundstein für diese Leistung ist von Carl Zeiss „Komplettes Erfassungssystem“ gelegt worden. Dieses besteht dem Inobjektiv SE-Detektor für Oberflächendarstellung, dem Inobjektiv EsB-Detektor für materiellen Kontrast und aus dem AsB-Detektor für breit zerstreute umgekehrte Elektronen. Die letzteren enthalten spezifische Informationen über die Kristallrichtung der Probe.

Die eindeutige Ladungsausgleichsanlage von MERLIN erlaubt auch die hochauflösende Darstellung von nicht leitfähigen Proben. Elektronen, die auf der Oberfläche der Probe akkumulieren, werden weg durch einen feinen Jet des Stickstoffes gefegt. Auf diese Art kann das komplette Erfassungssystem von MERLIN verwendet werden. Ein zusätzliches Merkmal der Anlage für Ladungsausgleich ist ein Kanal für reinen Sauerstoff, in-situbeispielreinigung aktivierend. Innerhalb der auftretenden Verbrennungsrückstände der Unterdruckkammer häufig werden von der Beispieloberfläche gelöscht und so produzieren ein beträchtlich klareres und contrasty Bild. Beide Optionen erlauben dem Benutzer, sich auf die Darstellung und die Analyse der Probe zu konzentrieren, anstatt, Zeit und Geld in der Probenaufbereitung zu investieren.

MERLIN neue elektronische Anlage ermöglicht eine flexible Instrumentkonfiguration. Zusätzliche Detektoren können schnell nachgerüstet werden und dem Benutzer erlauben, die Anlage wachsenden Anforderungen anzupassen. Darüber hinaus macht diese Flexibilität die Investition zukunftssicher und aktiviert den Benutzer, von laufender Detektorentwicklung auf lange Sicht zu profitieren.

Stellen „das neue MERLIN sowie der gerade vor kurzem eingeführte AURIGA Querträgerarbeitsplatz tadellos dar, was unsere Produkte für stehen: Maximale Informationen - Maximaler Einblick“, Stenkamp unterstreicht. „Und - der Markt kann viel bis M&M-Zeigung und die Europäische Mikroskopie-Konferenz in Graz, Österreich in den kommenden Wochen erwarten, Ende August.“

Last Update: 14. January 2012 01:40

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