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牛津仪器等离子技术公司宣布推出Nanofab 800敏捷系统

Published on September 3, 2009 at 6:21 AM

蚀刻,沉积和生长,流程和系统的领导者,牛津仪器等离子技术 (OIPT),刚刚推出Nanofab800Agile系统。这个新工具,扩展了高度灵活的工具和成熟的流程提供了催化剂治疗和纳米管和纳米线的可控生长,除了提供标准和高温度的PECVD Nanofab范围。

Nanofab800Agile系统提供的发展机遇,影响纳米结构的生长。快速周转,随着加热温度高达800℃,和敏捷和冷却系统还提供了对齐和尺寸的纳米结构的控制。

其他好处包括可变采样到最大的200mm晶圆尺寸可达,良好的温度均匀性,和灵活的温度控制。该系统配置了一个真空负荷锁,以确保工艺的可重复性和室的清洁度。

具有一个可选的液体源输送系统,并与定制开发设置对齐的增长和控制薄膜应力,Nanofab800Agile的处理能力,在高压和高流动制度。

伊恩麦金利,高级产品经理OIPT的意见,“作为一家公司,我们正在不断努力提高产品提供给客户。这项最新的除了我们的产品范围,意味着我们的客户将受益于先进的功能,如快速加热和冷却循环,具有优异的温度均匀性和过程控制,。这是备份OIPT广泛的工艺库和应用方面的专业知识,结合我们的承诺,以持续优良的客户服务和支持。“

Last Update: 3. October 2011 01:55

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