Leveransen av det Första Optiska Systemet från Carl Zeiss Sammanfogar Listar av RealitetNyheterna Om EUV-Lithography

Published on September 16, 2009 at 8:27 AM

Carl Zeiss, världens ledande producent av optiska system för gå i flisor fabricering, har nu levererat ett färdigt optiskt system för produktion-ordnar till Ultraviolett Lithography för Ytterligheten (EUVL), en ny teknik för microchipfabricering. Detta optiska system bildar en kärna urenhet av det första EUVL-produktionsystemet från den Holländska producenten och den långsiktiga partnern till Carl Zeiss, ASML. Leveransen av det färdiga EUVL-systemet, start på en klassa av 60 rån per timme, planeras i understödjahalvan av 2010. Det ämnas för produktion av microchips med strukturerar i 20na som Nanometeren spänner

”15 år sedan, lanserade har investerat vi forskning och utveckling av EUV-Lithography och långt överstigande 100 miljon Euros sedan dess,”, rapportDr. Peter Kürz, EUV-ProgramDirektör på Carl Zeiss SMT i Oberkochen. ”Hitintills, har ASML installerat två som processaa utveckling bearbetar runt om jordklotet. Nu är dess bruk i volymproduktionen av microchips inom räckvidd.”,

Denna teknologi, för utvecklingen av som Peter Kürz och hans lag nominerades inför framtiden Utmärkelsen av den Tyska Federala Presidenten i 2007, och som har betalats med en slutsumma av över 20 miljon euros både av det Tyska Departement av Utbildning och Forskning och på en jämn Europé, långsiktigt potentiellt för erbjudanden för pågående miniatyrisering av gå i flisor strukturerar. Den fungerar med en exponeringsvåglängd av 13,5 nanometers-nästan 15 tider som är kortare än den 193 nanometer teknologin som för närvarande är i bruk. Tack till detta kortsluter exponeringsvåglängd, är det möjligheten som förminskar storleksanpassa av, gå i flisor strukturerar och förhöjning deras emballagetäthet.

ASML har redan mottagit fem beställer för EUVL-produktionsystemet, med leveranser som är startas i 2010. ”Är Våra nya framgångar viktiga milstolpar som visar att EUVL är utmärkt framsteg för danande som en kosta - den effektiva singeln som mönstrar teknologi. EUVL har upplösningen att driva för att bära Moores lagdet okända det nästa årtiondet,” något att sägaKristen Wagner, Hög ProduktChef på ASML.

Annan realitetnyheterna som angår utvecklingen av EUVL som publiceras under de förgångna få veckorna, försvarar optimism. Institutet för Belgaren IMEC (Leuven), till exempel som anmälas för en tid sedan om den lyckade produktionen av 22 celler för nanometer SRAM genom att använda den processaa utvecklingen för EUV, bearbetar installerat i dess lätthet. Jämfört till den föregående teknologiknutpunkten, resulterade detta i en 44% förminskning gå i flisor in ytbehandlar, område-och därför i potentiellt halvera av produktionen kostar. Producenten av laser strålar ljusa källor för lithography, detbaserade företaget Cymer, levererade för en tid sedan den första källan för integration in i ASMLS system för EUVL-produktion rakt i 2010.

Teknologi

I lithography gå i flisor det processaa för kärna ur som in används, fabricering, mönstrar närmare detalj för går runt, transistorer, och kondensatorer överförs optiskt från en maskera till rånet. För detta ämna, ett belysningsystem, och ett projektionssystem integreras in i en rånbildläsare. Kortare våglängden av det ljust som används för lithography, mer fin mönstrar som kan produceras med den. Tända med en extremt kort våglängd av 13,5 nanometers används för EUV-Lithography. Belysning- och projektionsoptik består därför av flera i sekvens ordnat, intricately format avspeglar i stället för linserna som används normalt till nu. Den uppnådda upplösningen möjliggör kick gå i flisor emballage täthet-och därför gå i flisor higher kapacitet. EUV-Lithographyerbjudanden som det potentiellt av att fortsätta den processaa miniatyriseringen, som har ägt rum praktiskt sedan uppfinningen av inbyggt - går runt för åtminstone en annan årtionde-och därför av framkallande microchips med kapacitet jämnar, som är inconceivable i dag.

Last Update: 25. January 2012 06:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit