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STnano Acquisti Plasmalab System80 Inoltre ICP sistema da Oxford Instruments Tecnologia dei plasmi

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) ha recentemente vinto un contratto con il centro di ricerca francese, STnano a Strasburgo, in Francia per la fornitura di un System80 Plasmalab Plus. ICP sistema.

Oxford Instruments Plasma Technology Plasmalab80 Inoltre ICP di sistema

STnano è la nuova piattaforma di nanofabbricazione Strasburgo, istituita congiuntamente da IPCMS (un laboratorio CNRS) e l'Università di Strasburgo (UDS), ed ha esperienza nella progettazione di nanostrutture con metodi top-down, e lo studio delle loro proprietà magnetiche.

Oxford Instruments 'Plasmalab System80Plus sistema è una soluzione flessibile e compatta ed economica per l'incisione al plasma e processi di deposizione. STnano ha acquistato il plasma ad accoppiamento induttivo (ICP) di configurazione, di processo di materiali diversi tra cui silicio etch. OIPT di Plasmalab System80Plus è disponibile anche configurato per l'incisione e la deposizione (ICP-PECVD), incisione ioni reattivi (RIE), incisione al plasma (PE) o potenziato a plasma Chemical Vapour Deposition (PECVD).

Dr. Hicham Majjad, Direttore Nanofabrication a STnano, dice che centro di ricerca ha scelto uno strumento di Oxford Instruments in quanto dotato le loro esigenze di ricerca. "Come un importante centro di ricerca francese abbiamo chiesto il sistema più specifiche che abbiamo trovato per adattarsi alle specifiche per il lavoro che stiamo impresa. Il design del carico Plasmalab80 + aperto consente un rapido carico e scarico, ideale per la prototipazione e bassa ambienti di volume di produzione, come il nostro. Il sistema è stato acquistato come parte del programma della STnano di dotare la nostra camera bianca con lo stato della strumentazione arte per nano e micro fabbricazione su scala nel campo della elettronica molecolare, spintronici, e polimeri ".

"Come leader mondiale nella fornitura di strumenti etch alla comunità Nano, unita alla nostra esperienza nella tecnologia di processo, OIPT è stato in grado di offrire proprio il sistema che stavano cercando STnano," afferma Mark Vosloo, direttore vendite di OIPT, "Siamo orgogliosi di il nostro team di ingegneri di processo, in grado di offrire i processi e le tecniche per supportare i nostri clienti elevate esigenze. "

Last Update: 6. October 2011 09:40

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