Надежно и Допустимо Приборы Конструкции Микро- и Датчики Из Диаманта

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

Предварительные Технологии Диаманта (ADT) делают обширно доступно рецепт etch который включает инженеров и проявителей продукта к надежно и допустимо приборы конструкции микро- и датчики из диаманта.

Основывает на исследовании опубликованном в вопросе Ноября Декабря 2009 пэр-расмотренного Журнала Науки Вакуума & Технологии B (JVST B), рецепта etch доступна для загрузки от вебсайта ADT на http://www.thindiamond.com. Используя стандартные процессы доступные в большинств плавильнях, этом сухом рецепте etch позволяет конструкторы развить приборы и датчики самый современный диаманта микро- пока исключающ сложность традиционно связанную с диамантом.

«Процесс для того чтобы сделать диамант доступным, доступным, и доступный закончен. Мы опубликовывали этот рецепт поэтому диамант можно включать в потоки процесса используя такие же оборудование и материалы используемые для того чтобы обрабатывать кремний. Мы исключали риск-и тайн- как сделать приборы и нас диаманта понадейтесь простимулировать творческие способности и мудреность конструкторов для того чтобы сделать приборы диаманта без иметь их потревожиться о обрабатывая шагах,» сказал президенту ADT, Нейл Kane.

Статья, «Nanofabrication Острых Подсказок Диаманта Литографированием E-Луча и Индуктивно Соединенное Вытравливание Иона Плазмы Реактивное,» описывают начатый рецепт etch пока создающ острый диамант наклоняют для атомных зондов микроскопии (AFM) усилия. Сухой рецепт etch был оптимизирован для того чтобы достигнуть максимального тарифа etch 650 nm/min используя Вафли UNCD® ADT. Параметры для того чтобы достигнуть более медленных тарифов etch также конспектированы которые применимы для начинать чувствительные nano-структуры. Отростчатые шаги для создавать и делать по образцу трудную маску, 350 слоев nm толщиной плазм-увеличенных химическим депозированных паром SiOx, также детализированы.

«Мы имеем клиентов используя наши Вафли UNCD для того чтобы сделать продукты диаманта как разнообразным по мере того как AFM зондирует, переключаем для радиолокатора фазировать-блока, биосенсоров для того чтобы обнаружить Escherichia Coli в воде, освещении СИД, и бор-данных допинг электродах диаманта для очищения воды. Простой, оптимизированный рецепт etch делает принятие диаманта очень прямодушным,» говорит Др. Джон Карлайл инженерно-технического работника ADT главный. «Все поколение 2D и структуры диаманта 3D теперь мыслимый как приборы RF MEMS высокой эффективности и акселерометры,» сказал научному работнику руководства MEMS ADT и ведущему автор статьи JVST B, Др. Nicolaie Moldovan.

Развитие оптимизированной сухой возможности etch часть исследования ADT продолжающийся для того чтобы выдвинуть свою Награду 2009 R&D100 выигрывая NaDiaProbes®, зонды AFM вс-диаманта мира первые, которые созданы используя Вафли UNCD как первоначальный материал. NaDiaProbes нет диамант-покрынных зондов или частей диаманта установленных на cantilevers; агрегат довольно весь консольных и подсказки сделан UNCD, тонкопленочной формы диаманта nanocrystalline.

ADT признательно подтверждает свое продолжая сотрудничество с Лабораторией Argonne Национальной (Argonne) которая соавтор статьи JVST B. NaDiaProbes было начато с даром от программы SBIR/STTR Национального Фонда.

Сформировано для того чтобы commercialize технология диаманта ultrananocrystalline начатая на Argonne, ADT исключительная лицензия к своему портфолио патентов диаманта. ADT Технология 2007 Пионерская, получатель Мирового Форума Награды 2008 EuroAsia IC в Материалах Включающ категорию от кассеты Полупроводника EuroAsia, победителя 2008 Награды R&D 100 для сторон механически уплотнений для жидких насосов, и R&D 2009 100 Награждает победителя для NaDiaProbes.

Last Update: 13. January 2012 07:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit